【摘要】 本发明专利涉及一种静电吸盘的制造方法，包括：制成一层薄的氧化铝陶瓷电介质，利用喷镀的方法在电介质表面上形成一层均匀的电极薄膜，电极薄膜有很强的粘力和良好的导电性能，并在电极上电镀一层导电合抗氧化的金属层。然后利用粘胶将另一层电介质和粘有电极的电介质粘接在一起。 该数据由<>整理 【专利类型】发明申请 【申请人】北京中科信电子装备有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】101111 北京市中关村科技园通州园光机电一体化产业基地兴光二街6号 【申请人地区】中国 【申请人城市】北京市 【申请人区县】通州区 【申请号】CN200810238894.2 【申请日】2008-12-04 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101764078A 【公开公告日】2010-06-30 【公开公告年份】2010 【IPC分类号】H01L21/683 【发明人】伍三忠; 胡振东; 谢均宇 【主权项内容】一种静电吸盘的制造方法，所述静电吸盘在电介质主体中嵌入薄膜电极，其特征在于：电介质主体由两个电介质层粘接形成，薄膜电极形成在电介质之间。 【当前权利人】北京中科信电子装备有限公司 【当前专利权人地址】北京市中关村科技园通州园光机电一体化产业基地兴光二街6号 【专利权人类型】有限责任公司(法人独资) 【统一社会信用代码】911101127513429762
