【摘要】 本发明公开了一种精确检测和校正扫描离子束平行度的方法和装置，涉及离子注入机，属于半导体集成电路器件制造领域。该检测和校正装置包括平行度校正磁铁、校正磁铁电源、移动法拉第杯、采样法拉第杯，剂量检测器、数字扫描发生器、电机运动控制器、控制计算机。所述的平行度校正磁铁放置于静电扫描板之后适当位置，其励磁线圈与校正磁铁电源连接；所述的采样法拉第杯输出与剂量检测器连接；所述的数字扫描发生器输出与扫描放大器连接；所述的扫描放大器与静电扫描板连接；所述的电机运动控制器输出与移动法拉第杯驱动电机连接；所述的移动法拉第杯受驱动电机驱动，可在靶室内沿X水平方向移动；所述的校正磁铁电源、移动法拉第杯、采样法拉第杯，剂量检测器、数字扫描发生器、电机运动控制器与控制计算机连接，由计算机协调动作并进行控制。扫描离子束平行度检测和校正的方法包括数据检测、数据处理和参数调整等步骤，通过来回移动法拉第杯检测出离子束平行度误差数据，多次调整磁铁电源的设置电流来使扫描离子束平行度达到误差范围。本发明能够自动实现扫描离子束平行度的精确检测和校正，达到扫描离子束各点的入射角偏差小于±0.7°，扫描离子束平行度偏差优于±0.1°的水平。 【专利类型】发明申请 【申请人】北京中科信电子装备有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】101111 北京市通州区次渠中关村科技园通州园·光机电一体化产业基地兴光二街六号 【申请人地区】中国 【申请人城市】北京市 【申请人区县】通州区 【申请号】CN200810238896.1 【申请日】2008-12-04 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101764029A 【公开公告日】2010-06-30 【公开公告年份】2010 【IPC分类号】H01J37/317; H01J37/244; H01L21/00; H01L21/265 【发明人】邱小莎; 钟新华; 龙会跃 【主权项内容】一种精确检测和校正扫描离子束平行度的控制装置，包括平行度校正磁铁、校正磁铁电源、移动法拉第杯、采样法拉第杯，剂量检测器、数字扫描发生器、电机运动控制器、控制计算机。其特征在于：所述的平行度校正磁铁放置于静电扫描板之后适当位置，其励磁线圈与校正磁铁电源连接；所述的采样法拉第杯输出与剂量检测器连接；所述的数字扫描发生器输出与扫描放大器连接；所述的扫描放大器与静电扫描板连接；所述的电机运动控制器输出与移动法拉第杯驱动电机连接；所述的移动法拉第杯受驱动电机驱动，可在靶室内沿X水平方向移动；所述的校正磁铁电源、移动法拉第杯、采样法拉第杯，剂量检测器、数字扫描发生器、电机运动控制器与控制计算机连接，由计算机协调动作并进行控制。 【当前权利人】北京中科信电子装备有限公司 【当前专利权人地址】北京市通州区次渠中关村科技园通州园·光机电一体化产业基地兴光二街六号 【专利权人类型】有限责任公司(法人独资) 【统一社会信用代码】911101127513429762 【被引证次数】20 【被自引次数】12.0 【被他引次数】8.0 【家族被引证次数】20
