【摘要】 本发明涉及一种电容式水平轴微机械音叉陀螺，其特征在于：它包括衬底，锚点，检测折叠梁，框架，驱动折叠梁，检测质量块，驱动梳齿电容及检测梳齿电容；驱动梳齿电容和检测梳齿电容分别包括可动电极和固定电极；锚点，检测折叠梁，框架，检测质量块，驱动梳齿电容及检测梳齿电容相对于陀螺X、Y轴对称分布；驱动梳齿电容的可动电极与检测质量块固定连接，检测质量块通过驱动折叠梁与框架连接，检测梳齿电容的可动电极与框架连接，框架通过检测折叠梁与锚点连接，锚点固定连接在衬底上；驱动梳齿电容的固定电极和检测梳齿电容的固定电极通过各自的锚点固定连接在衬底上。本发明工艺过程简单，可与Z轴音叉陀螺兼容，可用于实现单片三轴陀螺，并可以实现大批量生产。 数据由整理 【专利类型】发明授权 【申请人】北京大学 【申请人类型】学校 【申请人地址】100871 北京市海淀区颐和园路5号北京大学微电子学研究院 【申请人地区】中国 【申请人城市】北京市 【申请人区县】海淀区 【申请号】CN200810117116.8 【申请日】2008-07-24 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101319899B 【公开公告日】2010-11-10 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN101319899B 【授权公告日】2010-11-10 【授权公告年份】2010.0 【IPC分类号】G01C19/56; G01C19/5621 【发明人】郭中洋; 杨振川; 赵前程; 林龙涛; 刘雪松; 丁海涛; 崔健; 闫桂珍 【主权项内容】一种电容式水平轴微机械音叉陀螺，其特征在于：它包括衬底，锚点，检测折叠梁，框架，驱动折叠梁，检测质量块，驱动梳齿电容及检测梳齿电容；所述驱动梳齿电容和检测梳齿电容分别包括可动电极和固定电极；所述锚点，检测折叠梁，框架，检测质量块，驱动梳齿电容及检测梳齿电容相对于陀螺X、Y轴对称分布；所述驱动梳齿电容的可动电极与所述检测质量块固定连接，所述检测质量块通过所述驱动折叠梁与所述框架连接，所述检测梳齿电容的可动电极与所述框架连接，所述框架通过所述检测折叠梁与所述锚点连接，所述锚点固定连接在所述衬底上；所述驱动梳齿电容的固定电极和所述检测梳齿电容的固定电极通过各自的锚点固定连接在所述衬底上；当系统有Y轴方向角速度输入时，设置在所述Y轴两边的检测质量块通过所述驱动折叠梁和框架带动所述检测梳齿电容的可动电极作离面扭摆运动，通过左右检测梳齿电容的差分信号获得输入的角速度信息。 【当前权利人】北京大学 【当前专利权人地址】北京市海淀区颐和园路5号北京大学微电子学研究院 【专利权人类型】公立 【统一社会信用代码】12100000400002259P 【引证次数】3.0 【自引次数】2.0 【他引次数】1.0 【家族引证次数】3.0 【家族被引证次数】24
