【摘要】 一种微细电化学加工用电极的侧壁绝缘方法，涉及在微细电化学加工用电极的侧壁表面形成绝缘膜的方法，属于微细加工技术领域。该方法的操作步骤为：1)清洗电极；2)旋涂法在电极表面涂敷液态绝缘材料；3)利用局部溶解的方法去除电极端面的液态绝缘材料，使端面导电；4)固化液态绝缘材料；5)重复步骤2)、步骤3)、步骤4)数次，在电极的侧壁表面形成一定厚度的绝缘膜，以满足侧壁绝缘要求。绝缘材料可采用环氧树脂液。本发明不仅适用于微细电化学加工用单电极，而且适用于微细电化学加工用阵列电极，同时也为电生理学实验用电极提供了一种新的侧壁绝缘方法。 微信 【专利类型】发明授权 【申请人】清华大学 【申请人类型】学校 【申请人地址】100084 北京市100084信箱82分箱清华大学专利办公室 【申请人地区】中国 【申请人城市】北京市 【申请人区县】海淀区 【申请号】CN200810225440.1 【申请日】2008-10-31 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101391328B 【公开公告日】2010-06-02 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN101391328B 【授权公告日】2010-06-02 【授权公告年份】2010.0 【IPC分类号】B23H3/04; B23H3/06; C08J3/24; C08L63/00 【发明人】李勇; 刘改红; 陈旭鹏 【主权项内容】1.一种微细电化学加工用电极的侧壁绝缘方法，其特征在于该方法包括如下步骤：1)清洗电极；2)采用旋涂法在电极表面涂敷液态绝缘材料，所述的液态绝缘材料采用由WSR 618环氧树脂、501活性稀释剂和651低分子聚酰胺树脂固化剂混合而成的环氧树脂液；3)利用溶剂液膜，通过局部溶解的方法去除电极端面的液态绝缘材料，使端面导电；4)对侧壁表面上的液态绝缘材料进行固化处理；5)重复步骤2)、步骤3)、步骤4)数次，在电极的侧壁表面形成一定厚度的绝缘膜，以满足侧壁绝缘要求。 【当前权利人】清华大学 【当前专利权人地址】北京市100084信箱82分箱清华大学专利办公室 【专利权人类型】公立 【统一社会信用代码】12100000400000624D 【引证次数】3.0 【被引证次数】4 【自引次数】1.0 【他引次数】2.0 【被自引次数】3.0 【被他引次数】1.0 【家族引证次数】3.0 【家族被引证次数】14
