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化学气相沉积法制备石墨烯的方法专利

发布时间:2026-06-13

【摘要】 本发明公开了一种石墨烯的制备方法。该方法是采用化学气相沉积法制备石墨烯,包括如下步骤:将带有催化剂的衬底放入无氧的反应器中,使衬底的温度达到500~1200℃,然后向所述反应器中通入含碳物质,得到石墨烯;其中,所述催化剂为金属或金属化合物。本发明利用化学气相沉积法制备石墨烯的方法,操作方便,简易可行,可用于大规模生产;制备的石墨烯具有可以图案化的优点,而且具有较少的缺陷。 【专利类型】发明授权 【申请人】中国科学院化学研究所 【申请人类型】科研单位 【申请人地址】100080 北京市海淀区中关村北一街2号 【申请人地区】中国 【申请人城市】北京市 【申请人区县】海淀区 【申请号】CN200810113596.0 【申请日】2008-05-29 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101285175B 【公开公告日】2010-07-21 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN101285175B 【授权公告日】2010-07-21 【授权公告年份】2010.0 【IPC分类号】C23C16/26; C23C16/52 【发明人】刘云圻; 魏大程; 狄重安; 王钰; 张洪亮; 黄丽平; 于贵 【主权项内容】一种石墨烯的制备方法,其特征在于:采用化学气相沉积法制备石墨烯,包括如下步骤:将带有催化剂的衬底放入无氧的反应器中,使衬底的温度达到500~1200℃,向所述反应器中通入含碳物质,得到石墨烯;其中,所述催化剂为金属或金属化合物;所述金属为金、银、铜、铁、钴和镍中的一种或其任意组合;所述金属化合物为硫化锌、氧化锌和氯化铁中的一种或其任意组合。 【当前权利人】中国科学院化学研究所 【当前专利权人地址】北京市海淀区中关村北一街2号 【统一社会信用代码】12100000400012238A 【被引证次数】60 【被他引次数】60.0 【家族被引证次数】141

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