【摘要】 本发明涉及一种透射电镜微栅的制备方法，其包括以下步骤：提供多个金属网格间隔设置在一基底表面；从碳纳米管阵列中拉取获得至少一碳纳米管薄膜；将至少一碳纳米管薄膜覆盖在该多个间隔设置的金属网格上；使用有机溶剂处理该碳纳米管薄膜和金属网格；以及断开该多个金属网格之间的碳纳米管薄膜，从而形成多个透射电镜微栅。 【专利类型】发明授权 【申请人】清华大学; 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 【申请人类型】企业,学校 【申请人地址】100084 北京市海淀区清华园1号清华大学清华-富士康纳米科技研究中心401室 【申请人地区】中国 【申请人城市】北京市 【申请人区县】海淀区 【申请号】CN200810067934.1 【申请日】2008-06-20 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101609771B 【公开公告日】2010-12-08 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN101609771B 【授权公告日】2010-12-08 【授权公告年份】2010.0 【IPC分类号】H01J9/00; H01J37/20; H01J37/02; H01J37/28 【发明人】张丽娜; 陈卓; 冯辰; 刘亮; 姜开利; 李群庆; 范守善 【主权项内容】一种透射电镜微栅的制备方法，其包括以下步骤：提供多个金属网格间隔设置在一基底表面；从碳纳米管阵列中拉取获得至少一碳纳米管薄膜，该碳纳米管薄膜为定向排列的多个碳纳米管束首尾相连形成的具有一定宽度的碳纳米管薄膜；将至少一碳纳米管薄膜覆盖在该多个间隔设置的金属网格上；使用有机溶剂处理该碳纳米管薄膜和金属网格，从而使该碳纳米管薄膜与该金属网格结合紧密；以及断开该多个金属网格之间的碳纳米管薄膜，从而形成多个透射电镜微栅。 【当前权利人】清华大学; 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 【当前专利权人地址】北京市海淀区清华园1号清华大学清华-富士康纳米科技研究中心401室; 广东省深圳市宝安区龙华镇油松第十工业区东环二路2号 【专利权人类型】公立; 有限责任公司(外国法人独资) 【统一社会信用代码】12100000400000624D; 914403007084307436 【引证次数】3.0 【他引次数】3.0 【家族引证次数】7.0 【家族被引证次数】83
