【摘要】 真空紫外光谱检测装置属于光谱分析领域。该装置包括：入口狭缝(2)，凹面光栅(3)，光纤阵列(4)和平板检测器(5)。入口狭缝(2)和凹面光栅(3)安装于真空腔体(1)之中，光纤阵列(4)的一个端面与由入口狭缝(2)和凹面光栅(3)所决定的罗兰圆面重合。光纤阵列(4)的该端面涂有可将真空紫外光转化为可见光的荧光物质，另一端面分叉为多个子光纤阵列，子光纤阵列的端面为平面并分别与一个平板检测器(5)相连接。本装置有同时测量一定波长范围内真空紫外光谱的能力，并达到掠入射光栅真空紫外光谱仪的光谱和像素分辨率，检测的时间响应好且有很高的灵敏度；真空腔体内无需可移动部件，结构简单可靠。 【专利类型】发明授权 【申请人】清华大学 【申请人类型】学校 【申请人地址】100084 北京市海淀区清华园 【申请人地区】中国 【申请人城市】北京市 【申请人区县】海淀区 【申请号】CN200810102876.1 【申请日】2008-03-28 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101256144B 【公开公告日】2010-06-02 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN101256144B 【授权公告日】2010-06-02 【授权公告年份】2010.0 【IPC分类号】G01N21/67; G01J3/20; G01J3/36 【发明人】谭熠; 蒲以康 【主权项内容】一种真空紫外光谱检测装置，其特征在于，依次包括：入口狭缝(2)，凹面光栅(3)，光纤阵列(4)和平板检测器(5)；入口狭缝(2)和凹面光栅(3)安装于真空腔体(1)之中，光纤阵列(4)的一个端面与由入口狭缝(2)和凹面光栅(3)所决定的罗兰圆面重合，光纤阵列(4)的该一个端面涂有可将真空紫外光转化为可见光的荧光物质，另一端面分叉为多个子光纤阵列，这些子光纤阵列的端面都为平面并分别与一个平板检测器(5)相连接；光纤阵列(4)与真空腔体(1)真空密封连接。 【当前权利人】清华大学 【当前专利权人地址】北京市海淀区清华园 【专利权人类型】公立 【统一社会信用代码】12100000400000624D 【引证次数】2.0 【他引次数】2.0 【家族引证次数】2.0 【家族被引证次数】14
