【摘要】 本发明公开了一种射频匹配方法及等离子体处理设备，通过射频功率对传感器的输出 信号进行校准，由公式(Ⅰ)得出校准后的电压和电流信息，式中 Mn×2＝f(Prf)为系数矩阵，随射频功率Prf的变化而变化。根据校准后的电压和电流信息进 行阻抗匹配，可以减小射频功率对传感器模拟电路的影响，从而使得匹配器可以稳定、精 确地工作在更宽的功率范围内。 【专利类型】发明申请 【申请人】北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】100016北京市朝阳区酒仙桥东路1号M5座2楼 【申请人地区】中国 【申请人城市】北京市 【申请人区县】朝阳区 【申请号】CN200810116573.5 【申请日】2008-07-11 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101626656A 【公开公告日】2010-01-13 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN101626656B 【授权公告日】2012-10-31 【授权公告年份】2012.0 【发明人】武晔 【主权项内容】1、一种射频匹配方法，其特征在于，包括步骤： 首先，传感器采集射频传输线的电压和电流信息，进行处理后给出输出信号； 然后，通过射频功率对所述传感器的输出信号进行校准，得出校准后的电压和电流信 息； 之后，根据所述校准后的电压和电流信息进行阻抗匹配。 【当前权利人】北京北方华创微电子装备有限公司 【当前专利权人地址】北京市大兴区经济技术开发区文昌大道8号 【专利权人类型】有限责任公司 【统一社会信用代码】91110302801786752A 【被引证次数】10 【被自引次数】4.0 【家族被引证次数】10
