【摘要】 本发明公开一种阻抗匹配器，包括检测单元、控制单元和执行机构，该控制单元包括微处理器和执行机构驱动模块，该微处理器根据工艺需要控制执行机构驱动模块进入相应的工作状态，并且根据检测单元的检测值执行匹配控制算法，将由此得到的匹配网络中的阻抗调整量输入至执行机构，所述工作状态包括睡眠状态、通电状态、运行状态和保持状态；所述执行机构根据所述调整量对匹配网络中的阻抗进行调整，以减小射频传输线上的反射功率，使射频发生器产生的功率输送至等离子体处理腔室。此外，本发明还公开一种阻抗匹配方法及应用上述阻抗匹配器和/或方法的等离子体处理系统。本发明能够提高阻抗匹配的精度，并能够延长阻抗匹配器等部件的使用寿命。 【专利类型】发明申请 【申请人】北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】100016 北京市朝阳区酒仙桥东路1号M5楼南二层 【申请人地区】中国 【申请人城市】北京市 【申请人区县】朝阳区 【申请号】CN200810239148.5 【申请日】2008-12-10 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101754566A 【公开公告日】2010-06-23 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN101754566B 【授权公告日】2012-07-25 【授权公告年份】2012.0 【IPC分类号】H05H1/46; H01J37/32 【发明人】王一帆; 武晔 【主权项内容】一种阻抗匹配器，包括检测单元、控制单元和执行机构，所述检测单元用于检测射频传输线上的电压、电流、前向功率、反向功率，并将其输出至控制单元；所述控制单元根据检测单元的相应检测值执行匹配控制算法，并将由此得到的匹配网络中的阻抗调整量输入至执行机构；所述执行机构根据所述调整量对匹配网络中的阻抗进行调整，以减小射频传输线上的反射功率，使射频发生器产生的功率输送至等离子体处理腔室，其特征在于，所述控制单元包括微处理器和执行机构驱动模块，所述微处理器根据工艺需要控制执行机构驱动模块进入相应的工作状态，所述工作状态包括睡眠状态、通电状态、运行状态和保持状态。 【当前权利人】北京北方华创微电子装备有限公司 【当前专利权人地址】北京市大兴区经济技术开发区文昌大道8号 【专利权人类型】有限责任公司 【统一社会信用代码】91110302801786752A 【被引证次数】11 【被他引次数】11.0 【家族引证次数】6.0 【家族被引证次数】13
