【摘要】 本实用新型公开了一种300mm立式氧化炉双壁反应管，设有圆桶形石 英材料的外管壁和内管壁，内管壁与外管壁之间设有间隔夹层，外管壁上端 封闭，内管壁上端为开口，内、外管壁下端密封连接；在内管壁的下端设有 连通内、外管壁之间夹层和气源的进气管及连通内管壁的内腔与反应管外的 出气管；在外管壁内焊接固定有两个偶管，在该偶管的下端焊接有一个半圆 柱管，该半圆柱管焊在内管壁上，其外侧设有一个用以安装热电偶的椭圆形 开口。在反应管下面设有法兰盘，该法兰盘上设有一个定位凸块。本实用新 型适用于立式氧化炉的炉体内使用，是硅片氧化的反应腔室，加工质量易于 保证，结构完善，使用方便灵活。 【专利类型】实用新型 【申请人】北京七星华创电子股份有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】100016北京市朝阳区酒仙桥东路1号 【申请人地区】中国 【申请人城市】北京市 【申请人区县】朝阳区 【申请号】CN200820234108.7 【申请日】2008-12-31 【申请年份】2008 【公开公告号】CN201382677Y 【公开公告日】2010-01-13 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN201382677Y 【授权公告日】2010-01-13 【授权公告年份】2010.0 【发明人】钟华; 董金卫; 赵星梅; 胡星强; 艾伦·埃马米 【主权项内容】1、一种300mm立式氧化炉双壁反应管，其特征在于：设有圆桶形石英 材料的外管壁(2)和内管壁(1)，内管壁与外管壁之间设有间隔夹层(1.1)， 外管壁上端封闭，内管壁上端为开口，内、外管壁下端密封连接；在内管壁 的下端设有连通内、外管壁之间夹层和气源的进气管(5)及连通内管壁的 内腔与反应管外的出气管(4)；在外管壁内焊接固定有两个偶管(3)，在该 偶管的下端焊接有一个半圆柱管(6)，该半圆柱管焊在内管壁上，其外侧设 有一个用以安装热电偶的椭圆形开口(6.1)。 【当前权利人】北京北方华创微电子装备有限公司 【当前专利权人地址】北京市大兴区经济技术开发区文昌大道8号 【专利权人类型】股份有限公司 【统一社会信用代码】91110000726377528Y 【被引证次数】2 【被自引次数】2.0 【家族被引证次数】2
