【摘要】 一种透明导电膜的制造方法，用于在基底上形成包含氧化锌材质的透明导电膜；包括：在基底上形成包含氧化锌的种子层；在所述种子层上形成包含氧化锌的主体层。本发明还提供一种透明导电膜、显示装置和太阳能电池。本发明的制造方法能够提高形成透明导电膜的速率；本发明的透明导电膜光电转换效率较高。 【专利类型】发明申请 【申请人】北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】100016 北京市朝阳区酒仙桥东路一号M5楼北方微电子 【申请人地区】中国 【申请人城市】北京市 【申请人区县】朝阳区 【申请号】CN200810226995.8 【申请日】2008-11-28 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101748405A 【公开公告日】2010-06-23 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN101748405B 【授权公告日】2014-02-12 【授权公告年份】2014.0 【IPC分类号】C23C28/00; C23C14/35; C23C16/18; H01B5/14; H01L21/28; H01L31/18; H01L51/48; H01L51/56; H01L31/0224; H01L51/44; H01L27/32; H01L51/52; H01L33/00; G02F1/1343; G06F3/042 【发明人】徐亚伟 【主权项内容】一种透明导电膜的制造方法，用于在基底上形成包含氧化锌材质的透明导电膜；其特征在于包括：在基底上形成包含氧化锌的种子层；在所述种子层上形成包含氧化锌的主体层。 【当前权利人】北京北方华创微电子装备有限公司 【当前专利权人地址】北京市大兴区经济技术开发区文昌大道8号 【专利权人类型】有限责任公司 【统一社会信用代码】91110302801786752A 【引证次数】3.0 【被引证次数】15 【他引次数】3.0 【被他引次数】15.0 【家族引证次数】6.0 【家族被引证次数】15
