【摘要】 本发明公开了一种机械手及晶片处理系统，机械手包括机械手臂、末端执行器，机械 手臂的前端设有卡槽，末端执行器的后端插入卡槽中，并通过螺钉固定连接，增大了整体 的刚性，从而减少了机械手运行过程中的振动；末端执行器的上平面设有凹槽，凹槽的平 面形状与被加工晶片的平面形状相适应，被加工晶片恰可放入凹槽中，使机械手运动期间 将晶片保持在固定位置，增强晶片的稳定性。可以增加机械手的运行速率，从而增大晶片 处理系统单位时间内的产量，同时避免晶片与末端执行器的摩擦，保证处理工艺的正常进 行，并保护晶片。 【专利类型】发明申请 【申请人】北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】100016北京市朝阳区酒仙桥东路1号M5座2楼 【申请人地区】中国 【申请人城市】北京市 【申请人区县】朝阳区 【申请号】CN200810222607.9 【申请日】2008-09-18 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101677077A 【公开公告日】2010-03-24 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN101677077B 【授权公告日】2012-03-07 【授权公告年份】2012.0 【IPC分类号】H01L21/677; B65G47/90; B65G49/07; B25J15/00; H01L21/67 【发明人】陈德高 【主权项内容】1、一种机械手，包括机械手臂、末端执行器，其特征在于，所述的机械手臂的前端 设有卡槽，所述末端执行器的后端插入所述卡槽中，且所述机械手臂与所述末端执行器之 间固定连接。 【当前权利人】北京北方华创微电子装备有限公司 【当前专利权人地址】北京市大兴区经济技术开发区文昌大道8号 【专利权人类型】有限责任公司 【统一社会信用代码】91110302801786752A 【被引证次数】9 【被他引次数】9.0 【家族引证次数】1.0 【家族被引证次数】9
