【摘要】 本发明涉及一种太阳能电池制造方法，包括：101)制造形成PN结；102)淀积减反射膜；103)判断是否需要清洁工艺腔室，如果是，则转到步骤104)，如果否，则转到步骤105)；104)清洁工艺腔室；105)制作电极。另外，本发明还涉及一种太阳能电池制造设备，包括工艺腔室、进气装置、抽气装置，PN结形成模块，淀积模块，控制模块，腔室清洁模块，电极制作模块。本发明所提供的太阳能电池制造方法及设备，可在无需停机的前提下，当判断出工艺腔室需要进行清洁时对其进行清洁处理。因此，本发明所提供的太阳能电池制造方法及设备能够有效减少甚至消除因腔室内壁附着物脱落而对硅片造成的污染，并提高设备生产效率。 【专利类型】发明申请 【申请人】北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】100016 北京市朝阳区酒仙桥东路1号M5楼南二层 【申请人地区】中国 【申请人城市】北京市 【申请人区县】朝阳区 【申请号】CN200810240163.1 【申请日】2008-12-18 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101752457A 【公开公告日】2010-06-23 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN101752457B 【授权公告日】2011-11-02 【授权公告年份】2011.0 【IPC分类号】H01L31/18; C23C16/54; C23C16/44 【发明人】荣延栋 【主权项内容】一种太阳能电池的制造方法，其特征在于，包括以下步骤：101)将杂质原子掺杂到硅片中，以制造形成PN结；102)在形成有PN结的硅片的表面淀积形成可降低光反射率的减反射膜；103)判断是否需要对工艺腔室内壁进行清洁处理，如果是，则转到步骤104)；如果否，则转到步骤105)；104)借助于含氟气体所形成的等离子体，对工艺腔室进行清洁处理，去除腔室内壁上的附着物；105)在上述硅片表面印制所需的太阳能电池的电极，并干燥硅片上的浆料、去除浆料中的有机组分，使所述浆料和硅片形成良好的欧姆接触。 【当前权利人】北京北方华创微电子装备有限公司 【当前专利权人地址】北京市大兴区经济技术开发区文昌大道8号 【专利权人类型】有限责任公司 【统一社会信用代码】91110302801786752A 【被引证次数】6 【被自引次数】4.0 【被他引次数】2.0 【家族引证次数】5.0 【家族被引证次数】6
