【摘要】 本发明涉及有机发光领域，公开了一种有机发光显示器接口的清洗工艺，其特征在于使用准分子激光清洗技术对其清洗，包括给有机发光显示器接口涂上保护膜和对有机发光显示器接口电极部分进行准分子激光清洗两大步骤，解决现有的有机发光显示器接口不便于清洗的不足，利用感光膜的高感光性，用激光对有机发光显示器接口进行清洗，感光膜及其上附着的污染物在激光束的烧蚀下激活蒸发，无任何杂物的干净接口暴露出来，使得有机发光显示器接口达到高质量的清洁度，符合后期压线要求，以制造精度更高的产品。。 【专利类型】发明授权 【申请人】云南北方奥雷德光电科技股份有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】650000 云南省昆明市五华区教场东路31号 【申请人地区】中国 【申请人城市】昆明市 【申请人区县】五华区 【申请号】CN200810233757.X 【申请日】2008-12-26 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101465288B 【公开公告日】2010-08-11 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN101465288B 【授权公告日】2010-08-11 【授权公告年份】2010.0 【IPC分类号】H01L21/00; H01L51/56; B08B7/00 【发明人】张筱丹; 季华夏; 王灿 【主权项内容】一种有机发光显示器接口清洗工艺，使用准分子激光清洗技术对其清洗，其特征在于具体包括以下步骤：(1)在有机发光显示器接口被有机发光材料覆盖之前给有机发光显示器接口涂上保护膜；(2)对有机发光显示器接口电极部分进行准分子激光清洗；i)将有机发光显示器芯片放入准分子激光器处理工作台，调节遮板位置预留光狭缝，对准需要清洗的显示器接口电极区域并进行对位校准；ii)启动准分子激光发生器，使激光器预热，调整激光能量达到150mJ以后运行一分钟，然后将脉冲频率设定为100Hz，同时将起始脉冲设定为空运转；iii)调整激光的能量，使激光的功率达到18Kv；iv)如果功率达到18Kv，那么可以进行后续操作；v)如果功率达不到18Kv，需要进行气体回填，即增加准分子激光器激发需要的气体剂量，重复步骤(ii)使功率达到18Kv；vi)粗调校准：使用一些测试用的晶圆来验证激光的能量效果，并在×20倍以上的显微镜下观察晶圆清洗效果；vii)效果达到标准以后进行精调校准，否则重复步骤(v)和(vi)；viii)精调校准：通过X，Y，Z和⊙角四维方向上的步进电机的精确控制以保证激光束和焊接电极的精确对位；ix)有机发光显示器接口电极区域清洗开始，脉冲频率为100Hz，清洗一列有机发光显示器接口需要激光激发25～30次，即清洗一列需要0.025～0.03秒；X)清洗完成后关闭激光发生器，保留主电源运行；Xi)清理载物台和工作区域。 【当前权利人】云南北方奥雷德光电科技股份有限公司 【当前专利权人地址】云南省昆明市五华区教场东路31号 【专利权人类型】股份有限公司(非上市、国有控股) 【统一社会信用代码】91530100673635473X 【被引证次数】2 【被自引次数】1.0 【被他引次数】1.0 【家族被引证次数】5
