【摘要】 一种X-Y-Z三自由度串联式纳米级微定位工作台，包括：基座、运动平台、X向位移放大器、Y向位移放大器、Z向位移放大器，所述基座、Z向位移放大器、Y向位移放大器、X向位移放大器、动平台依次连接，形成串联结构，各个自由度之间分别控制位移，其中X向位移放大器和Y向位移放大器结构相同。本发明结构紧凑，输出行程范围大，运动平台上的一点可以到达行程范围内的任意一点，可运用于各种有严格的空间限制，较大的位移需求的场合。 【专利类型】发明授权 【申请人】上海交通大学 【申请人类型】学校 【申请人地址】200240 上海市闵行区东川路800号 【申请人地区】中国 【申请人城市】上海市 【申请人区县】闵行区 【申请号】CN200810038553.0 【申请日】2008-06-05 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101286369B 【公开公告日】2010-08-11 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN101286369B 【授权公告日】2010-08-11 【授权公告年份】2010.0 【IPC分类号】G12B5/00; G12B9/08 【发明人】刘品宽; 龙旦风; 徐博强; 冯恺恺 【主权项内容】一种X-Y-Z三自由度串联式纳米级微定位工作台，其特征在于，包括：基座、运动平台、X向位移放大器、Y向位移放大器、Z向位移放大器，所述基座、Z向位移放大器、Y向位移放大器、X向位移放大器、运动平台依次连接，形成串联结构，各个自由度之间分别控制位移，其中：所述X向位移放大器和Y向位移放大器结构相同，均包括：四根刚性直杆联接成的矩形结构框架、矩形内部的两根刚性直杆、一个压电陶瓷驱动器、一个微调螺钉；组成矩形结构框架的刚性直杆作为这个矩形的四条边，相邻边以柔性铰链联接；其中一条长边作为本方向位移放大器的固定边，其对边作为运动输出边；固定边向矩形内部伸出一L字形的刚架，此刚架与矩形固定边为同一个刚体；刚架和固定边之间的空间容纳压电陶瓷驱动器；压电陶瓷驱动器的后端面被从刚架的螺纹孔旋入的微调螺钉顶住，前端面顶住矩形结构框架内部的一根刚性直杆中间部位的弧形顶尖，此刚性直杆作为本方向的第一级位移放大，其一端用柔性铰链和矩形固定边联接，另一端用柔性铰链与矩形结构框架内的另一根刚性直杆的中间部位联接，此受联接的刚性直杆作为本方向的第二级位移放大，其一端用柔性铰链与L字形刚架的端部联接，另一端用柔性铰链和矩形固定边的一条邻边联接；此邻边作为本方向的第三级位移放大；所述Z向位移放大器包括：四根刚性直杆联接成的矩形结构框架、一个直角三角形构件、一个陶瓷驱动器、一个微调螺钉；组成矩形结构框架的刚性直杆作为这个矩形的四条边，相邻边以柔性铰链联接；其中一条短边作为本方向位移放大器的固定边，其对边作为运动输出边；固定边向矩形内部伸出一倒∏形的刚架，此刚架与矩形固定边为同一个刚体；倒∏形刚架里面的空间容纳压电陶瓷驱动器；压电陶瓷驱动器的后端面被从刚架的螺纹孔旋入的微调螺钉顶住，前端面顶住三角形构件一条直角边的中间部位的弧形顶尖；此刚性直角三角形构件作为本方向的第一级位移放大，其直角顶点与刚架的端部以柔性铰链联接，它的另一条直角边的端部和矩形固定边的一条邻边以柔性铰链联接；此邻边作为本方向的第二级位移放大。 -官网 【当前权利人】上海青客时尚生活服务股份有限公司 【统一社会信用代码】1210000042500615X0 【引证次数】2.0 【被引证次数】6 【他引次数】2.0 【被他引次数】6.0 【家族引证次数】2.0 【家族被引证次数】23
