【摘要】 本发明涉及一种检测技术领域的多个标定指标的气体成分分辨与识别方法，利用由局部自持放电产生的离子流作为检测对象，采用“放电电极正极—放电电极负极—检测电极”三极结构形成放电区域和检测区域，通过改变检测电极的加载电压测量某种成分气体在检测区域内不同电场强度下形成的离子电流，将测量得到的“加载电压—检测电极电流”关系作为标定该成分气体的指标，在识别该成分气体时，用相同加载电压下的检测电极电流实测值与标定值进行对比。本发明能够显著提高场致电离气体传感器的选择性、敏感性；相对于间隙击穿电学特征检测方法，本发明能够极大改善器件的稳定性、寿命、可靠性和识别精度。 【专利类型】发明授权 【申请人】上海交通大学 【申请人类型】学校 【申请人地址】200240 上海市闵行区东川路800号 【申请人地区】中国 【申请人城市】上海市 【申请人区县】闵行区 【申请号】CN200810033990.3 【申请日】2008-02-28 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101236178B 【公开公告日】2010-11-17 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN101236178B 【授权公告日】2010-11-17 【授权公告年份】2010.0 【IPC分类号】G01N27/70 【发明人】侯中宇; 蔡炳初 【主权项内容】一种多个标定指标的气体成分分辨与识别方法，其特征在于，利用由局部自持放电产生的离子流作为检测对象，采用“放电电极正极-放电电极负极-检测电极”三极结构形成放电区域和检测区域，通过改变检测电极的加载电压测量目标气体在检测区域内不同电场强度下形成的离子电流，将测量得到的“检测电极加载电压-检测电极电流”关系作为该目标气体的标定指标；在识别被检测气体时，将相同加载电压条件下对被检测气体测量得到的“检测电极加载电压-检测电极电流”的实测值与标定指标进行对比，如果在测量误差确定的范围内两者相同，则被检测气体被认为与该目标气体具有相同的成分；否则，则被检测气体被认为与该目标气体具有不同的成分；所述的采用“放电电极正极-放电电极负极-检测电极”三极结构形成放电区域和检测区域是指：放电电极正极与放电电极负极组成放电区域，放电电极正极表面具有能够引发局部自持放电的结构，放电电极负极具有镂空结构，从而使放电电极中气体电离过程所产生的正离子能够部分地运动到放电电极之外，在放电电极负极之上设置检测电极。 【当前权利人】上海交通大学 【当前专利权人地址】上海市闵行区东川路800号 【统一社会信用代码】1210000042500615X0 【引证次数】4.0 【自引次数】1.0 【他引次数】3.0 【家族引证次数】4.0 【家族被引证次数】1
