【摘要】 本实用新型涉及一种制造液晶显示面板用的掩模板，其包括多个单元产品掩模图形，并且所述单元产品掩模图形包括开孔，以及所述开孔的孔边缘形成多个非规则直线图形。本实用新型的掩模板可以在不改变现有的工艺和流程的基础上，有效改善现有工艺中的孔层结构之中的层间跨断问题，从而极大地提高了生产良率，降低了生产成本，提高了生产效率。 【专利类型】实用新型 【申请人】上海天马微电子有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】201201 上海市浦东新区汇庆路889号5层 【申请人地区】中国 【申请人城市】上海市 【申请人区县】浦东新区 【申请号】CN200820060812.5 【申请日】2008-10-07 【申请年份】2008 【公开公告号】CN201489270U 【公开公告日】2010-05-26 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN201489270U 【授权公告日】2010-05-26 【授权公告年份】2010.0 【IPC分类号】G03F1/14; G03F1/00; G03F7/00; H01L21/84 【发明人】汪梅林 【主权项内容】一种制造液晶显示面板用掩模板，其特征是：包括多个单元产品掩模图形，用于液晶显示面板制造的光刻工艺，其中所述单元产品掩模图形包括开孔，并且所述开孔的孔边缘形成多个非规则直线图形。 【当前权利人】武汉天马微电子有限公司 【当前专利权人地址】湖北省武汉市东湖新技术开发区流芳园横路8号 【专利权人类型】有限责任公司(非自然人投资或控股的法人独资) 【统一社会信用代码】91310115787803068D 【被引证次数】6 【被他引次数】6.0 【家族被引证次数】6
