【摘要】 一种天线制造的三维光刻方法，包括提供一基体结构件，基体结构件的表面形成导电层，导电层的外面形成感光油墨层，遮蔽，曝光，显影，蚀刻过程，特征为基体结构件为三维，并且形成的导电层，导电层外面的形成的感光油墨层，遮蔽和曝光过程都是对三维表面进行。本发明中，三维天线的图形可以一次形成，缩短生产周期，满足大批量生产。 【专利类型】发明申请 【申请人】上海安费诺永亿通讯电子有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】201108 上海市闵行区莘庄工业区申南路689号 【申请人地区】中国 【申请人城市】上海市 【申请人区县】闵行区 【申请号】CN200810204054.4 【申请日】2008-12-04 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101752643A 【公开公告日】2010-06-23 【公开公告年份】2010 【IPC分类号】H01Q1/00; H01Q1/38; G03F7/00 【发明人】宋玉明; 欧立文; 张新山; 卢晓峰; 戴丰; 于松涛; 唐永玲 【主权项内容】一种天线制造的三维光刻方法，包括：提供基体结构件，在基体结构件的表面形成导电层，导电层的上面形成感光油墨层，以及遮蔽，曝光，显影，蚀刻过程，其特征在于：所述导电层形成在基体结构件的三维表面上，所述的感光油墨层形成在导电层的三维表面上，所述的遮蔽和曝光过程都是对感光油墨层的三维表面进行。 【当前权利人】上海安费诺永亿通讯电子有限公司 【当前专利权人地址】上海市闵行区莘庄工业区申南路689号 【专利权人类型】有限责任公司(港澳台法人独资) 【统一社会信用代码】913100006074112793 【被引证次数】10 【被自引次数】2.0 【被他引次数】8.0 【家族被引证次数】10
