【摘要】 一种互连线失效检测方法，包括：在互连线路第一电极的激励点连接第一脉冲发生器，在测试点连接时域反射仪，在第二电极上连接第二脉冲发生器；用第一脉冲发生器在激励点输入电压脉冲，所述脉冲上升时间小于正常互连线中从激励点输入电压脉冲至第二电极接收到电压脉冲所需时间的2倍；如果在测试点的时域反射仪上接收到反射的电压脉冲，根据反射时间确定失效点的位置。本发明提高检测的速度和效率及定位的精确度。 【专利类型】发明申请 【申请人】中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】201203上海市浦东新区张江路18号 【申请人地区】中国 【申请人城市】上海市 【申请人区县】浦东新区 【申请号】CN200810205392.X 【申请日】2008-12-31 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101769975A 【公开公告日】2010-07-07 【公开公告年份】2010 【IPC分类号】G01R31/02; G01R31/11; H01L21/66 【发明人】王津洲 【主权项内容】一种互连线失效检测方法，其特征在于，包括：在互连线路第一电极的激励点连接第一脉冲发生器，在测试点连接时域反射仪，在第二电极上连接第二脉冲发生器；用第一脉冲发生器在激励点输入电压脉冲，所述脉冲上升时间小于正常互连线中从激励点输入电压脉冲至第二电极接收到电压脉冲所需时间的2倍；如果在测试点的时域反射仪上接收到反射的电压脉冲，根据反射时间确定失效点的位置。 【当前权利人】中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 【当前专利权人地址】上海市浦东新区张江路18号 【专利权人类型】有限责任公司(外国法人独资) 【统一社会信用代码】91310115710939629R 【引证次数】2.0 【被引证次数】6 【他引次数】2.0 【被他引次数】6.0 【家族引证次数】2.0 【家族被引证次数】6
