【摘要】 本发明提供一种用于精密切割机台的样品定位模板。在半导体制 造工艺中通常需要在晶圆片上用精密切割机台切割出一个特定的区 域进行检测，这种切割需要准确定位切割位置。目前常用的方法是 由技术熟练的工程师通过观察对目标区域作手工定位切割，但是对 于45度晶格产品来说，由于切割方向和晶圆片的划片槽成45度角， 这种情况下仍然靠人工定位切割区域出现误差的几率很高。采用本 发明的样品定位模块，可以方便准确地在样品上添加取样辅助线， 最后精密切割机台操作人员可以通过取样辅助线准确地截取样品。 【专利类型】发明申请 【申请人】中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】201203上海市浦东新区张江路18号 【申请人地区】中国 【申请人城市】上海市 【申请人区县】浦东新区 【申请号】CN200810039988.7 【申请日】2008-07-01 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101620039A 【公开公告日】2010-01-06 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN101620039B 【授权公告日】2011-06-22 【授权公告年份】2011.0 【IPC分类号】G01N1/28; B28D1/22 【发明人】陈强; 邹丽君; 葛挺锋; 江秀霞 【主权项内容】1、一种用于精密切割机台的样品定位模板，其特征在于，所述 样品定位模板由透明材料构成，该透明材料构成的样品定位模板包 括， 样品孔(101)， 多个用于确定一矩形的镂空结构的标记窗(102)，所述多个标记 窗(102)所确定的矩形以所述样品孔(101)为中心，其两边与水平方向 平行，两边与水平方向垂直； 所述样品定位模板还包括， 第一辅助标线(103)，该第一辅助标线(103)包括与水平方向垂直 的线条和/或与水平方向平行的线条； 第二辅助标线(104)，该第二辅助标线(104)包括与水平方向成 45°角的线条。 【当前权利人】中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 【当前专利权人地址】上海市浦东新区张江路18号 【专利权人类型】有限责任公司(外国法人独资) 【统一社会信用代码】91310115710939629R 【被引证次数】11 【被他引次数】11.0 【家族引证次数】4.0 【家族被引证次数】11
