【摘要】 本发明涉及一种镀膜蒸发载具，其包括一个具有一个转子的驱动部，至少一个转动部及 多个可放置薄膜材料的收容部，该至少一个转动部包括一个活动耦合至该转子的柱状转动体 及沿该柱状转动体延伸且分别用于支撑该多个收容部的多个支撑体。所述的镀膜蒸发载具通 过在多个收容部内分散放置不同或相同的薄膜材料及驱动部驱动转动部将放置所需薄膜材料 的收容部转动至电子发射源发射电子的路径上，无需频繁更换镀膜蒸发载具及薄膜材料，提 高了生产效率，且所需预熔的薄膜材料的深度变小，从而改善了预熔效果。本发明还涉及一 种使用上述镀膜蒸发载具的真空镀膜装置。 【专利类型】发明申请 【申请人】鸿富锦精密工业(深圳)有限公司; 鸿海精密工业股份有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】518109广东省深圳市宝安区龙华镇油松第十工业区东环二路2号 【申请人地区】中国 【申请人城市】深圳市 【申请人区县】宝安区 【申请号】CN200810302486.9 【申请日】2008-06-30 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101619446A 【公开公告日】2010-01-06 【公开公告年份】2010 【IPC分类号】C23C14/50; C23C14/24 【发明人】王仲培 【主权项内容】1.一种镀膜蒸发载具，其特征在于：其包括一个具有一个转子的驱 动部，至少一个转动部及多个可放置薄膜材料的收容部，该至少一个转动部包括一个活动耦 合至该转子的柱状转动体及沿该柱状转动体延伸且分别用于支撑该多个收容部的多个支撑体 。 【当前权利人】鸿富锦精密工业(深圳)有限公司; 鸿海精密工业股份有限公司 【当前专利权人地址】广东省深圳市宝安区龙华镇油松第十工业区东环二路2号; 中国台湾新北市土城区中山路66号 【专利权人类型】有限责任公司(外国法人独资) 【统一社会信用代码】914403007084307436 【被引证次数】5 【被自引次数】1.0 【被他引次数】4.0 【家族引证次数】10.0 【家族被引证次数】12
