【摘要】 本发明公开了一种改进型三氯氢硅的合成方法。该方法包括一个对氯化氢气体进行深度干燥的步骤，氯化氢气体经过三级冷却器干燥之后，再通过以氯硅烷溶液为除水剂的深度干燥塔干燥，然后经过干燥之后的氯化氢气体进入合成反应釜内与硅粉反应合成三氯氢硅。本发明方法既可以提高三氯氢硅的产率，降低硅粉的单耗，又可实现资源的循环利用。还可以降低设备被腐蚀、管道堵塞的几率。 【专利类型】发明授权 【申请人】广州吉必盛科技实业有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】510450 广东省广州市广花一级公路塘贝段 【申请人地区】中国 【申请人城市】广州市 【申请人区县】荔湾区 【申请号】CN200810199060.5 【申请日】2008-10-10 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101367524B 【公开公告日】2010-09-29 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN101367524B 【授权公告日】2010-09-29 【授权公告年份】2010.0 【IPC分类号】C01B33/107 【发明人】徐宁; 冯钦邦; 段先健 【主权项内容】一种改进型三氯氢硅合成方法，其特征在于：该方法包括一个对氯化氢气体进行深度干燥的步骤，氯化氢气体首先经过三级冷却器干燥，使氯化氢气体的含水量降到500ppm，再通过以四氯化硅溶液为除水剂的深度干燥塔干燥，使氯化氢的含水量降至100ppm以下，经过深度干燥后的氯化氢气体进入合成反应釜内与硅粉反应合成三氯氢硅。 【当前权利人】湖北汇富纳米材料股份有限公司 【当前专利权人地址】湖北省宜昌市猇亭区猇亭大道66-2号 【专利权人类型】有限责任公司 【统一社会信用代码】91440101726807209R 【家族被引证次数】3
