【摘要】 本发明公开了一种合成多晶硅原料三氯氢硅的方法，该方法包括以下步骤：A)硅粉用干燥的氯化氢气体输送到三氯氢硅合成炉；B)反应的氯化氢按比例从三氯氢硅合成炉底部输入合成炉内，合成炉中同时加入适量氢气和四氯化硅；C)温度控制在280～310℃，硅粉和氯化氢发生反应，生成包括有三氯氢硅和四氯化硅的混合气体；D)除去粉尘及高氯硅烷的混合气体，经水冷和隔膜压缩机加压后，再用-40℃冷媒将三氯氢硅和四氯化硅冷凝为液体，其中，分离出包含H2、HCl的不凝气体。该方法可将三氯氢硅收率从82％提高88％以上。 【专利类型】发明授权 【申请人】广州吉必盛科技实业有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】510450 广东省广州市广花一级公路塘贝段 【申请人地区】中国 【申请人城市】广州市 【申请人区县】荔湾区 【申请号】CN200810028426.2 【申请日】2008-05-30 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101279734B 【公开公告日】2010-06-02 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN101279734B 【授权公告日】2010-06-02 【授权公告年份】2010.0 【IPC分类号】C01B33/107 【发明人】王跃林; 刘莉; 龙成坤 【主权项内容】一种合成多晶硅原料三氯氢硅的方法，其特征是，主要包括以下步骤：A)硅粉通过管道用气体输送至硅粉仓，再加入硅粉烘粉炉，用干燥的氯化氢输送到三氯氢硅合成炉，干燥的氯化氢与硅粉的摩尔比：0.5～1∶1；B)反应氯化氢从三氯氢硅合成炉底部输入合成炉内，所述输入的反应氯化氢与步骤A)中所述的硅粉的摩尔比：2～2.5∶1；合成炉中还加入氢气和四氯化硅，氢气与输入的反应氯化氢的摩尔比：1∶10～15，四氯化硅与输入的反应氯化氢的摩尔比：1∶8～10；C)温度控制在280～310℃，硅粉和氯化氢发生反应，生成主要包括有三氯氢硅和四氯化硅的混合气体；该混合气体经分离过滤后除去粉尘及高氯硅烷，其中，未反应的硅粉再利用干燥的氯化氢气体输送到合成炉；D)除去粉尘及高氯硅烷的混合气体，经水冷和隔膜压缩机加压后，再用-40℃冷媒将三氯氢硅和四氯化硅冷凝为液体，其中，分离出包含H2、HCl的不凝气体。 【当前权利人】湖北汇富纳米材料股份有限公司 【当前专利权人地址】湖北省宜昌市猇亭区猇亭大道66-2号 【专利权人类型】有限责任公司 【统一社会信用代码】91440101726807209R 【引证次数】5.0 【被引证次数】10 【他引次数】5.0 【被他引次数】10.0 【家族引证次数】5.0 【家族被引证次数】43
