【摘要】 本发明涉及一种抽真空的设备，尤其涉及一种多功能抽真空设备。本发明要解决的技术问题是提供一种可以根据需要随时启停且随机根据各工件的抽真空度要求调节压力的多功能抽真空设备。其技术方案：该设备包括真空泵和与其连通的真空阀，工作阀通过连通管与真空阀连接；真空泵先与工作腔室连通，工作腔室上设有至少一个真空通道，该真空通道再通过连通管与真空阀连通；气体压力表也通过连通管与真空阀连通；前述各零部件位于支撑件上；可编程控制器通过电磁阀控制所述真空泵、真空阀和工作阀。本发明能根据需要随时启停；也随机根据各工件的抽真空度要求调节压力；某个工作腔室压力变化对其它工作腔室内的压力没有影响。 【专利类型】发明授权 【申请人】温晋轩 【申请人类型】个人 【申请人地址】523658 广东省东莞市寮步镇横坑管理区三禾工业区大秦厂 【申请人地区】中国 【申请人城市】东莞市 【申请人区县】东莞市 【申请号】CN200810180818.0 【申请日】2008-11-25 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101397986B 【公开公告日】2010-10-13 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN101397986B 【授权公告日】2010-10-13 【授权公告年份】2010.0 【IPC分类号】F04B37/14; F04B41/06; F04B49/02; F04B49/00; H01L21/00 【发明人】温晋轩 【主权项内容】一种多功能抽真空设备，包括真空泵和与其连通的真空阀，工作阀通过连通管与所述真空阀连接；其特征在于：所述真空泵先与工作腔室(1)连通，所述工作腔室(1)上设有至少一个真空通道，该真空通道再通过连通管与所述真空阀连通；气体压力表(64)也通过连通管与所述真空阀连通；前述各零部件位于支撑件(4)上；可编程控制器(PLC)通过电磁阀控制所述真空泵、真空阀和工作阀；所述工作腔室(1)包括高真空工作腔室(11)和低真空工作腔室(21)，所述真空泵包括高真空泵(2)和低真空泵(3)，所述真空通道包括高真空通道(111)和低真空通道(121)；所述工作阀包括清洗气体阀、充入气体阀和抽真空阀；所述支撑件(4)包括真空阀支撑平台(41)、真空泵支撑平台(42)和底座(43)，所述真空阀支撑平台(41)和真空泵支撑平台(42)通过至少三个固定支撑柱(411)固定连接；所述真空泵支撑平台(42)的底部至少与三个旋转支撑柱(421)的上端固定连接，该旋转支撑柱(421)的下端连接有万向轮支脚；所述底座(43)的底部设有机械旋转传动部件(5)，该机械旋转传动部件(5)通过中轴座(54)与中轴(51)固定连接，所述中轴(51)依次与所述真空阀支撑平台(41)和真空泵支撑平台(42)以及工作腔室(1)固定连接；在所述底座(43)和真空泵支撑平台(42)之间还设有支撑座(422)，所述支撑座(422)与所述底座(43)固定连接，所述中轴(51)可以在所述支撑座(422)内自由旋转。 【当前权利人】温晋轩 【当前专利权人地址】广东省东莞市寮步镇横坑管理区三禾工业区大秦厂 【引证次数】1.0 【他引次数】1.0 【家族引证次数】7.0 【家族被引证次数】6
