【摘要】 一种多层纳米膜隧穿式微陀螺仪的检测装置，主要结构由玻璃基板、固定电极正极、梳齿电极负极、敏感质量块、固定座、固定梳齿、阻尼孔、检测梁、驱动梁、联接块、隧穿器件、纳米膜层组成，在敏感质量块上设置固定座、梳齿，检测由检测梁、驱动梁、隧穿器件组成，隧穿器件由衬底基板、绝缘层、电极、纳米膜层组成，在玻璃基板上设置固定电极正极、梳齿电极负极，阻尼孔由96个通孔方形孔组成，纳米膜层可使隧穿器件形成多势垒压敏结构，可使硅压阻器件的灵敏度提高1-2个数量级，此装置结构合理紧凑，检测方便，检测精度高，灵敏度高，分辨率高，不受温度影响，其检测精度比现有技术可提高2-3倍，检测数据翔实、准确，可靠性好。 【专利类型】发明授权 【申请人】中北大学 【申请人类型】学校 【申请人地址】030051 山西省太原市尖草坪区学院路3号 【申请人地区】中国 【申请人城市】太原市 【申请人区县】尖草坪区 【申请号】CN200810054932.9 【申请日】2008-05-06 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101270990B 【公开公告日】2010-11-03 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN101270990B 【授权公告日】2010-11-03 【授权公告年份】2010.0 【IPC分类号】G01C19/56; G01P9/04; G01C21/18; G01C19/5656 【发明人】刘俊; 李孟委; 杜康; 石云波; 张斌珍; 杨卫; 李杰; 郭涛 【主权项内容】多层纳米膜隧穿式微陀螺仪的检测装置，其特征在于：主要结构由：玻璃基板、固定电极正极、梳齿电极负极、敏感质量块、固定梳齿、阻尼孔、检测机构组成，其中检测机构包括驱动梁、检测梁、联接块、隧穿器件，隧穿器件包括纳米膜层；在玻璃基板(64)的前、后部对称设置固定电极正极(65、66)，并粘结固牢，在玻璃基板(64)的左、右部对称设置梳齿电极负极(67、68)，并粘结固牢，在固定电极正极(65、66)上分别设有固定座(3、4)，并粘结固牢，在梳齿电极负极(67、68)上分别设有固定梳齿(5、6)，并粘结固牢，在玻璃基板(64)的中间位置设有敏感质量块(1)，在敏感质量块(1)的四角部设有检测机构(7、8、9、10)，并与固定座(3、4)吻合联接，敏感质量块(1)的梳齿(19、20)与固定梳齿(5、6)交叉关联，敏感质量块(1)可在玻璃基板(64)上做前、后、左、右移动，在检测机构(7、8、9、10)的前后部分别设有隧穿器件(11、12、13、14、15、16、17、18)，在敏感质量块(1)上等间距均布96个通孔方形阻尼孔(2)；所述的检测机构(7、8、9、10)，结构一样，在联接块(28)的左、右部为驱动梁(25、26)，在联接块(28)的中部位置、驱动梁(25、26)的中间为检测梁(27)，在检测梁(27)的前部和后部设有隧穿器件(11、12、13、14、15、16、17、18)；所述的隧穿器件(11、12、13、14、15、16、17、18)，结构一样，在衬底基板(33)的左上部设有第一绝缘层(34)，右上部设有第二绝缘层(35)，在衬底基板(33)的中上部设有集电极台面(41)、发射极台面(42)，在第一绝缘层(34)上部设有第一电极(36)，在集电极台面(41)上部设有第三电极(38)，在第二绝缘层(35)上部设有第四电极(39)，在第一电极(36)与第三电极(38)之间为第二电极(37)，第二电极(37)下部为空气桥(61)；在发射极台面(42)上部为纳米膜层(63)，纳米膜层(63)由17层纳米膜组成，纳米膜层(63)顶部为金属电极层(60)；发射极台面(42)上部为砷铝层(43)、即AlAs层，在砷铝层(43)上部为砷镓层(44)、即GaAs层，在砷镓层(44)上部为砷镓-氮层(45)、即N+-GaAs层，在砷镓-氮层(45)上部为砷镓-氮层(46)、即N+-GaAs层，在砷镓-氮层(46)上部为砷镓层(47)、即GaAs层，在砷镓层(47)上部为砷镓-铟层(48)、即In-GaAs层，在砷镓-铟层(48)上部为砷镓层(49)、即GaAs层，在砷镓层(49)上部为砷铝层(50)、即AlAs层，在砷铝层(50)上部为砷镓层(51)、即GaAs层，在砷镓层(51)上部为砷镓-铟层(52)、即In-GaAs层，在砷镓-铟层(52)上部为砷镓层(53)、即GaAs层，在砷镓层(53)上部为砷铝层(54)、即AlAs层，在砷铝层(54)上部为砷镓层(55)、即GaAs层，在砷镓层(55)上部为砷镓-铟层(56)、即In-GaAs层，在砷镓-铟层(56)上部为砷镓层(57)、即GaAs层，在砷镓层(57)上部为砷镓-氮层(58)、即N+-GaAs层，在砷镓-氮层(58)上部为砷镓-氮层(59)、即N+-GaAs层，在砷镓-氮层(59)上部为金属电极层(60)；在金属电极层(60)与第四电极(39)之间为第五电极(40)，第五电极(40)下部为空气桥(62)。 【当前权利人】中北大学 【当前专利权人地址】山西省太原市尖草坪区学院路3号 【专利权人类型】公立 【统一社会信用代码】12140000405747348X 【引证次数】5.0 【自引次数】2.0 【他引次数】3.0 【家族引证次数】5.0 【家族被引证次数】15
