【摘要】 本发明涉及一种防扩散、结构稳定的太阳能选择性吸收涂层，属于太阳能光热转换利用领域。所述的吸收涂层由下而上依次包括金属底层、吸收层和减反射层，在金属底层上沉积由TiC、TiN和TiCN构成的第一阻热扩散层，在吸收层上沉积由TiN和Ti构成的第二阻热扩散层。所述的选择性吸收涂层是利用金属靶在气体中溅射生成。本发明的有益效果是：有效防止涂层间的热扩散作用，结构稳定，耐高温性能好，热效率提高，制备方法简单，生产成本低廉。 【专利类型】发明授权 【申请人】山东力诺新材料有限公司; 清华大学 【申请人类型】企业,学校 【申请人地址】251600 山东省济南市商河县石化路10号 【申请人地区】中国 【申请人城市】济南市 【申请人区县】商河县 【申请号】CN200810159261.2 【申请日】2008-11-27 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101408354B 【公开公告日】2010-08-11 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN101408354B 【授权公告日】2010-08-11 【授权公告年份】2010.0 【IPC分类号】F24J2/48; C23C14/34; C23C14/14; C23C14/58 【发明人】高元坤; 齐京; 王健 【主权项内容】一种太阳能选择性吸收涂层，由下而上依次包括金属底层、吸收层和减反射层，其特征在于：在金属底层上沉积由TiC、TiN和TiCN构成的第一阻热扩散层，在吸收层上沉积由TiN和Ti构成的第二阻热扩散层；所述第一阻热扩散层的厚度为5-10nm，TiC、TiN和TiCN的摩尔比为1∶1.5～4∶3～5，所述第二阻热扩散层的厚度为5-10nm，TiN和Ti的摩尔比为1∶1.5～4。 【当前权利人】山东力诺新材料有限公司; 清华大学 【当前专利权人地址】山东省济南市商河县石化路10号; 北京市海淀区清华园 【专利权人类型】有限责任公司(自然人投资或控股的法人独资); 公立 【统一社会信用代码】91370126167696994U; 12100000400000624D 【引证次数】3.0 【被引证次数】7 【自引次数】3.0 【被自引次数】1.0 【被他引次数】6.0 【家族引证次数】3.0 【家族被引证次数】38
