【摘要】 微信 一种大口径抛物面镜检测系统，包括菲索型干涉仪、高精度平面反射镜、被测抛物面镜、电控平移台及计算机控制系统；平面反射镜实现对抛物面镜中心部分的自准直检测，之后移除平面镜，通过计算机控制电控平移台移动菲索型干涉仪，使得标准镜头产生的不同曲率半径的参考球面波前，与被测抛物面的平面反射镜口径外相应环形区域相匹配，通过计算机系统上的菲索型干涉仪数据处理软件把可分辨干涉条纹对应的相位数据提取出来；由环形子孔径“拼接”算法对所得子孔径测试数据进行处理，然后与平面镜自准直检测所获得数据进行全孔径波前重构获得被测抛物面面形信息；本发明为大口径和超大口径抛物面镜的研制提供了一种有效的检测手段，具有较大的应用价值。 【专利类型】发明授权 【申请人】中国科学院光电技术研究所 【申请人类型】科研单位 【申请人地址】610209 四川省双流350信箱 【申请人地区】中国 【申请人城市】成都市 【申请人区县】双流区 【申请号】CN200810113460.X 【申请日】2008-05-28 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101285732B 【公开公告日】2010-06-30 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN101285732B 【授权公告日】2010-06-30 【授权公告年份】2010.0 【IPC分类号】G01M11/00; G01M11/02 【发明人】侯溪; 伍凡; 陈强; 雷柏平 【主权项内容】一种大口径抛物面镜检测系统，其特征在于：包括菲索型干涉仪(1)、平面反射镜(2)、被测大口径抛物面镜(3)、电控平移台(6)、数字驱动器(4)及计算机系统(5)，计算机系统(5)通过数字驱动器(4)与电控平移台(6)连接，平面反射镜(2)用来实现对抛物面镜中心部分的自准直检测，然后通过计算机系统(5)控制电控平移台(6)移动菲索型干涉仪(1)，所产生的一系列不同曲率半径参考球面波前将与被测大口径抛物面镜(3)超过自准直检测范围的相应环形区域相匹配，在所匹配的环形区域里的入射参考球面波前与被测大口径抛物面(3)表面之间的偏离量将减小到干涉仪的测量范围内，产生一系列可分辨的环形干涉条纹，通过安装在计算机系统(5)上的菲索型干涉仪的数据处理软件把可分辨的环形干涉条纹对应的相位数据提取出来，由环形子孔径拼接算法将所得到的所述相位数据送入计算机系统(5)进行处理，然后与自准直检测结果一起进行全孔径波前重构，从而获得被测大口径抛物面(3)面形信息。 【当前权利人】中国科学院光电技术研究所 【当前专利权人地址】四川省双流350信箱 【统一社会信用代码】12100000450811820A 【被引证次数】1 【被他引次数】1.0 【家族被引证次数】22
