【摘要】 本发明属于光波导器件领域，具体涉及一种可作为聚合物光波导材料的负性含氟光刻胶组合物及该组合物在制备聚合物光波导器件中的应用。按重量计，负性含氟光刻胶组合物中含有5.0～7.0wt％的光致产酸物、50.0～75.0wt％的如式(1)所示的含氟环氧树脂和20.0～45.0wt％的溶剂，R为氯化(CCl2)或未氯化(CH2)的甲基，n值为1～8。由于在在含氟环氧树脂中，部分氢原子被氟原子取代，因此在通讯波段吸收较小，可直接作为聚合物光波导材料用于光波导器件的制作。该光刻胶组合物可以在紫外波长200～400nm范围内曝光并成像制作光波导器件，并可以通过改变光致产酸物的种类来调整曝光波长。 【专利类型】发明授权 【申请人】吉林大学 【申请人类型】学校 【申请人地址】130023 吉林省长春市朝阳区前进大街2699号 【申请人地区】中国 【申请人城市】长春市 【申请人区县】朝阳区 【申请号】CN200810050520.8 【申请日】2008-03-19 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101246310B 【公开公告日】2010-11-03 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN101246310B 【授权公告日】2010-11-03 【授权公告年份】2010.0 【IPC分类号】G03F7/038; G03F7/00; G02B6/138; G02B6/13 【发明人】崔占臣; 费旭; 万莹; 胡娟 【主权项内容】负性含氟光刻胶组合物，其特征在于：按重量计，含有5.0～7.0wt％的光致产酸物、50.0～75.0wt％的如式(1)所示的含氟环氧树脂和20.0～45.0wt％的溶剂；其中，R为CH2，n为2～6。FSB00000063331400011.tif 【当前权利人】吉林大学 【当前专利权人地址】吉林省长春市朝阳区前进大街2699号 【统一社会信用代码】121000004232040648 【引证次数】7.0 【他引次数】7.0 【家族引证次数】7.0 【家族被引证次数】5
