【摘要】 一种带有CCD多色器的光栅衍射效率测试仪，属于光谱技术领域中涉及的一种光栅衍射效率测试仪。要解决的技术问题是：提供一种带有CCD多色器的光栅衍射效率测试仪。解决的技术方案为包括光源模块、测量单色器、后置CCD多色器。光源模块壳体和后置CCD多色器壳体分别固定在测量单色器壳体右侧的两边，形成两个封闭的腔体；光源模块的腔体通过入射狭缝与测量单色器的腔体相通，后置CCD多色器的腔体通过出射狭缝与测量单色器的腔体相通；光源模块为测量系统提供光源，测量单色器提供被测光栅的衍射光强度和参考平面反射镜的反射光强度，两种光强度先后通过出射狭缝进入到后置CCD多色器内，经后置CCD多色器的读取后，测得光栅的衍射效率。测试仪结构简单、性能稳定、操作方便。 【专利类型】发明授权 【申请人】中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 【申请人类型】科研单位 【申请人地址】130033 吉林省长春市东南湖大路16号 【申请人地区】中国 【申请人城市】长春市 【申请人区县】二道区 【申请号】CN200810187614.X 【申请日】2008-12-29 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101441111B 【公开公告日】2010-09-08 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN101441111B 【授权公告日】2010-09-08 【授权公告年份】2010.0 【IPC分类号】G01J3/18; G01J3/28; G01J3/42 【发明人】于宏柱; 齐向东; 巴音贺希格 【主权项内容】一种带有CCD多色器的光栅衍射效率测试仪，包括测量单色器，所述的测量单色器包括入射狭缝(25)、测量单色器壳体(26)、第一凹面准直镜(27)、转台(28)、参考平面反射镜(29)、第二反射聚光镜(31)、出射狭缝(32)；其特征在于还包括光源模块和后置CCD多色器；所述的光源模块包括光源模块壳体(21)、第一反射聚光镜(22)、钨灯(23)、氘灯(24)；所述的后置CCD多色器包括平面反射镜(33)、后置CCD多色器壳体(34)、第二凹面准直镜(35)、光栅(36)、第三反射聚光镜(37)、CCD接收器(38)；光源模块壳体(21)和后置CCD多色器壳体(34)分别固定在测量单色器壳体(26)右侧的两边，形成两个封闭的腔体；光源模块的腔体通过测量单色器的入射狭缝(25)与测量单色器的腔体相通，后置CCD多色器的腔体通过测量单色器的出射狭缝(32)与测量单色器的腔体相通；在光源模块壳体(21)内，在第一反射聚光镜(22)反射面的左方置有光源钨灯(23)和氘灯(24)，该两个光源发出的光线依次经过第一反射聚光镜(22)反射后，通过入射狭缝(25)传入到测量单色器内，在第一反射聚光镜(22)和入射狭缝(25)形成的光路光轴上，在测量单色器壳体(26)内置有第一凹面准直镜(27)，在第一凹面准直镜(27)反射平行光束上安装有转台(28)，在转台(28)上放置参考平面反射镜(29)，在参考平面反射镜(29)的反射光束传播的方向上，置有第二反射聚光镜(31)，出射狭缝(32)位于第二反射聚光镜(31)的反射光束的光路上，且位于第二反射聚光镜(31)的焦面上；在转台(28)上放置参考平面反射镜(29)的位置上，在需要置换被测光栅时，被测光栅(30)就放置在转台(28)上放置参考平面反射镜(29)的位置上；在后置CCD多色器壳体(34)内，平面反射镜(33)置于第二反射聚光镜(31)和出射狭缝(32)形成的光路光轴上；在平面反射镜(33)的反射光束的光轴上置有第二凹面准直镜(35)，在第二凹面准直镜(35)反射光束上置有光栅(36)，在光栅(36)的衍射光传播方向上置有第三反射聚光镜(37)，在第三反射聚光镜(37)的反射光束的传播方向上置有CCD接收器(38)。 【当前权利人】中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 【当前专利权人地址】吉林省长春市东南湖大路16号 【统一社会信用代码】1210000041275487XF 【家族被引证次数】18
