【摘要】 本发明是有关于一种探针与芯片插座的清洁方法，其包括以下步骤：将探针自芯片插座中取下；以液态二氧化碳喷洒探针或芯片插座的表面；将探针或芯片插座置于一真空环境中使液态二氧化碳固化成固态二氧化碳；以及将探针或芯片插座置入一温度控制环境中使固态二氧化碳汽化成气态二氧化碳，同时吸走包覆污染源的气态二氧化碳。本发明可以有效的清洁探针与芯片插座。 【专利类型】发明申请 【申请人】京元电子股份有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】中国台湾新竹市 【申请人地区】中国 【申请人城市】台湾省 【申请号】CN200810171618.9 【申请日】2008-10-21 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101728747A 【公开公告日】2010-06-09 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN101728747B 【授权公告日】2011-06-15 【授权公告年份】2011.0 【IPC分类号】H01R43/00; B08B3/10 【发明人】赵本善 【主权项内容】一种探针与芯片插座的清洁方法，其特征在于其包括以下步骤：将探针自芯片插座中取下；以液态二氧化碳喷洒探针或芯片插座的表面；将探针或芯片插座置于一真空环境中使液态二氧化碳固化成固态二氧化碳；以及将探针或芯片插座置入一温度控制环境中使固态二氧化碳汽化成气态二氧化碳，同时吸走包覆污染源的气态二氧化碳。 【当前权利人】京元电子股份有限公司 【当前专利权人地址】中国台湾新竹市 【被引证次数】3 【被他引次数】3.0 【家族被引证次数】3
