【摘要】 本发明涉及一种具有防尘功能的微机电元件与制作方法。该具有防尘功能的微机电元件，包含：一个基板，其上包含微机电元件区域；以及沉积于该基板上，防护微尘粒子的防尘层。 【专利类型】发明申请 【申请人】原相科技股份有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】中国台湾新竹 【申请人地区】中国 【申请人城市】台湾省 【申请号】CN200810186731.4 【申请日】2008-12-12 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101746704A 【公开公告日】2010-06-23 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN101746704B 【授权公告日】2012-07-04 【授权公告年份】2012.0 【IPC分类号】B81B7/00; B81C1/00 【发明人】王传蔚; 李昇达 【主权项内容】一种具有防尘功能的微机电元件，其特征在于，包含：一个基板，其上包含微机电元件区域；以及沉积于该基板上、防护微尘粒子的防尘层。 【当前权利人】原相科技股份有限公司 【当前专利权人地址】中国台湾新竹 【家族引证次数】2.0
