【摘要】 本发明是有关于一种过电压保护元件及其制作方法，该过电压保护元件包含基板、一对电极层，该对电极层之间具有间隙、遮罩层设置于间隙及部分的电极层的上方、密封层覆盖于遮罩层及间隙。本发明另提出一种过电压保护元件的制作方法包含：提供基板；形成第一光阻层于基板上；形成图案化金属层于第一光阻层上；以图案化金属层为曝光光罩，对第一光阻层进行曝光及显影，以暴露出部分的基板；移除图案化金属层；形成一对电极层于暴露出的基板上，该对电极层间具有间隙；以及形成密封层覆盖于间隙。本发明的金属电极具有垂直度较佳的端面，且能有效避免空气以外的物质残留于两金属电极之间的间隙，藉以获得较佳的产品特性，从而更加适于实用。 【专利类型】发明申请 【申请人】乾坤科技股份有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】中国台湾新竹 【申请人地区】中国 【申请人城市】台湾省 【申请号】CN200810186222.1 【申请日】2008-12-17 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101752790A 【公开公告日】2010-06-23 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN101752790B 【授权公告日】2012-05-30 【授权公告年份】2012.0 【IPC分类号】H01T4/12; H01T4/00 【发明人】王钟雄; 林鸿铭; 陈国枢; 罗文翔 【主权项内容】一种过电压保护元件的制作方法，其特征在于其包括以下步骤：提供一基板；形成一第一光阻层于该基板上；形成一图案化金属层于该第一光阻层上；以该图案化金属层为一曝光光罩，对该第一光阻层进行曝光及显影，以暴露出部分的该基板；移除该图案化金属层；形成一对电极层于该暴露出的该基板上，该对电极层间具有一间隙；以及形成一密封层覆盖于该间隙。 【当前权利人】乾坤科技股份有限公司 【当前专利权人地址】中国台湾新竹 【引证次数】3.0 【被引证次数】14 【他引次数】3.0 【被他引次数】14.0 【家族引证次数】8.0 【家族被引证次数】14
