【摘要】 本发明涉及一种光学检测设备，其借助多视角和不同波长的光线所形 成的投射图像，可提高基板瑕疵检测的精度和效果，并进一步提高工艺良 品率和降低生产成本。该光学检测设备包括一光源、一反射元件、以及一 图像采集元件；其中该光源将光线投射至待测物；该反射元件具备至少两 个反射面，用以反射经过该待测物的光线；该图像采集元件接收经反射的 光线形成的一投射图像。 【专利类型】发明申请 【申请人】台达电子工业股份有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】台湾省桃园县龟山乡山顶村兴邦路31之1号 【申请人地区】中国 【申请人城市】台湾省 【申请号】CN200810145741.3 【申请日】2008-08-14 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101650320A 【公开公告日】2010-02-17 【公开公告年份】2010 【发明人】张仁明; 许贸雄; 陈诗涌; 李俞玺; 沈家麟; 林瑞堉 【主权项内容】1.一种光学检测设备，其包括： 一光源，其可将光线投射至一待测物； 一反射元件，该反射元件具备至少两个反射面，用以反射经过待测物 的光线；以及 一图像采集元件，其用以接收经反射的光线所形成的投射图像。 【当前权利人】台达电子工业股份有限公司 【当前专利权人地址】台湾省桃园县龟山乡山顶村兴邦路31之1号 【被引证次数】TRUE 【家族被引证次数】TRUE
