【摘要】 一种多指探针，包括一悬臂梁共享弹性部和多个自所述悬臂梁共享弹性部的自由端延伸出来的指部，其特征在于：所述悬臂梁共享弹性部的自由端悬空于一基板上方，使所述共享弹性部可提供一第一段弹性变形量；所述多个自所述悬臂梁共享弹性部的自由端延伸出来的指部，每一所述指部上有一针尖及一导线彼此电性连接，每一所述指部可提供一第二段弹性变形量。。： 【专利类型】发明申请 【申请人】旺矽科技股份有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】中国台湾新竹县竹北市中和街155号 【申请人地区】中国 【申请人城市】台湾省 【申请号】CN200810170739.1 【申请日】2008-10-23 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101726636A 【公开公告日】2010-06-09 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN101726636B 【授权公告日】2014-08-13 【授权公告年份】2014.0 【IPC分类号】G01R1/073 【发明人】范宏光; 陈志忠 【主权项内容】一种多指探针，包括一悬臂梁共享弹性部和多个自所述悬臂梁共享弹性部的自由端延伸出来的指部，其特征在于：所述悬臂梁共享弹性部的自由端悬空于一基板上方，使所述共享弹性部可提供一第一段弹性变形量；所述多个自所述悬臂梁共享弹性部的自由端延伸出来的指部，每一所述指部上有一针尖及一导线彼此电性连接，每一所述指部可提供一第二段弹性变形量。 【当前权利人】旺矽科技股份有限公司 【当前专利权人地址】中国台湾新竹县竹北市中和街155号 【引证次数】4.0 【被引证次数】4 【他引次数】4.0 【被他引次数】4.0 【家族引证次数】9.0 【家族被引证次数】4
