【摘要】 一种气体喷洒模块，用于设有进气管道的气相沉积腔，包含：至少一气体分布块，该气体分布块是沿第一轴向设有至少一扩散室，且该气体分布块设有分别连接进气管道与扩散室的多个进气孔；以及一气体喷洒块，该气体喷洒块之中沿第二轴向设有至少一喷洒管道，且该气体喷洒块设有用于连接扩散室与喷洒管道的气体流入通道，以及用于连接喷洒管道与气相沉积腔的气体流出通道；其中，该气体分布块与气体喷洒块彼此结合，使得扩散室由气体流入通道与喷洒管道相连通，且该第一轴向与第二轴向彼此间不平行。 该数据由<>整理 【专利类型】发明申请 【申请人】财团法人工业技术研究院 【申请人类型】科研单位 【申请人地址】中国台湾新竹县 【申请人地区】中国 【申请人城市】台湾省 【申请号】CN200810178956.5 【申请日】2008-12-03 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101748384A 【公开公告日】2010-06-23 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN101748384B 【授权公告日】2012-07-11 【授权公告年份】2012.0 【IPC分类号】C23C16/44; C23C16/455 【发明人】江铭通; 简荣祯; 何荣振; 黄智勇 【主权项内容】一种气体喷洒模块，用于设有进气管道的气相沉积腔，其特征在于，包含：至少一气体分布块，该气体分布块沿第一轴向设有至少一扩散室，且该气体分布块设有分别连接进气管道与扩散室的一进气孔；以及一气体喷洒块，置于气体分布块下方，该气体喷洒块之中沿第二轴向设有至少一喷洒管道，且该气体喷洒块并设有用于连接扩散室与喷洒管道的气体流入通道，以及用于连接喷洒管道与气相沉积腔的气体流出通道；其中，该气体分布块与气体喷洒块彼此结合，使得扩散室由气体流入通道与喷洒管道相连通，且该第一轴向与第二轴向彼此间不平行。 【当前权利人】财团法人工业技术研究院 【当前专利权人地址】中国台湾新竹县 【引证次数】3.0 【被引证次数】4 【他引次数】3.0 【被自引次数】1.0 【被他引次数】3.0 【家族引证次数】7.0 【家族被引证次数】4
