【摘要】 本发明提供一种显影喷嘴结构及喷涂显影液的方法，该显影喷嘴结构包括一喷嘴腔体，具有一第一室、位于其下的一第二室、一注入管供应显影液注入所述第二室内，以及与所述第二室连通且位于所述第二室下方的一喷涂管；以及一闸门装置，设置于所述第一室与所述第二室之间，在所述闸门装置开启时，显影液中的气泡进入并集中于所述第一室，在所述闸门装置关闭时，所述第一室的气泡与第二室的显影液隔离，且第二室的显影液经由所述喷涂管向外喷涂。藉此，可大幅减少气泡随着显影液被带出至面板，故能提升工艺效率。 微信 【专利类型】发明授权 【申请人】友达光电股份有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】中国台湾新竹市 【申请人地区】中国 【申请人城市】台湾省 【申请号】CN200810091401.7 【申请日】2008-04-14 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101251721B 【公开公告日】2010-09-01 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN101251721B 【授权公告日】2010-09-01 【授权公告年份】2010.0 【IPC分类号】G03F7/30; H01L21/00; H01L21/84N; H01L21/84 【发明人】何松勋; 张耿志 【主权项内容】一种显影喷嘴结构，其特征在于，所述显影喷嘴结构包括：一喷嘴腔体，具有一第一室、位于其下的一第二室、一注入管的一端经由所述第一室延伸进入所述第二室以供应显影液注入所述第二室内，以及与所述第二室连通且位于所述第二室下方的一喷涂管；以及一闸门装置，设置于所述第一室与所述第二室之间，在所述闸门装置开启时，显影液中的气泡进入并集中于所述第一室，在所述闸门装置关闭时，所述第一室的气泡与第二室的显影液隔离，且第二室的显影液经由所述喷涂管向外喷涂；一气泡排放管，其与所述第一室连通，在所述闸门装置关闭时，所述第一室中的气泡经由所述气泡排放管向外排放。 【当前权利人】友达光电股份有限公司 【当前专利权人地址】中国台湾新竹市 【引证次数】4.0 【他引次数】4.0 【家族引证次数】4.0 【家族被引证次数】4
