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模块化还原炉专利

发布时间:2026-06-16

【摘要】 本发明是一种模块化还原炉,包括多个还原炉单元模块,每个还原炉单元模块具有一个炉体,所述的多个炉体沿纵向和/或横向搭接在一起。采用模块化还原炉,扩建时不必拆除原有建筑,可以节约建造成本;而且,由于还原炉单元模块的形状、构造统一,因此可以进行规格化生产,必然导致生产效率提高、产品质量提高以及生产成本的下降;此外,进行规格化生产后,需要建造还原炉的生产企业仅需要将还原炉单元模块的各组成部分进行组装即可,大大缩短了建造工期。 【专利类型】发明授权 【申请人】候冰洋 【申请人类型】个人 【申请人地址】101100 北京市通州区八里桥南街68号京贸国际E座3105 【申请人地区】中国 【申请人城市】北京市 【申请人区县】通州区 【申请号】CN200810223587.7 【申请日】2008-10-08 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101381813B 【公开公告日】2010-06-16 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN101381813B 【授权公告日】2010-06-16 【授权公告年份】2010.0 【IPC分类号】C22B5/02; F27B19/00; F27B14/00; F27B14/08; F27B14/14; F27B14/20; F28D20/00 【发明人】候冰洋; 孙钢 【主权项内容】一种模块化还原炉,其特征在于:包括多个还原炉单元模块,每个还原炉单元模块具有一个炉体,所述的炉体的外形呈长方形,所述的多个炉体沿纵向和横向搭接在一起,且任意两个相邻的炉体以其相对面进行搭接;所述的炉体连接有至少一个旋转蓄热器,所述的旋转蓄热器呈圆盘状,包括上端盖、下端盖与旋转蓄热体,其中:所述的上端盖通过一根炉膛烟气管道与一根预热后的空气或燃气管道分别与炉体的烟气出口和进气口连通;所述的下端盖连接有一根空气或燃气进气管和烟气排出管,所述的空气或燃气进气管与所述的预热后的空气或燃气管道相对设置,所述的烟气排出管与所述的炉膛烟气管道相对设置,所述的烟气排出管连接有引风机;所述的旋转蓄热体枢接在一根旋转轴上,所述的旋转轴固定在所述的上端盖与下端盖之间,所述的旋转蓄热体在动力机构的驱动下绕旋转轴旋转;所述的空气或燃气进气管道均连通到一个总供气管道,所述的烟气排出管均连通到一个总排气管道,所述的引风机安装在所述的总排气管道上;在炉膛烟气管道上进一步通过一个空气阀连接有空气压缩机,并在炉膛烟气管道上设置有热电偶或流量计,所述的热电偶或流量计和空气阀均与一个控制系统相连;所述的烟气排出管上设置有温度传感器,用来测量烟气排出管内的气体温度,所述的温度传感器与所述的控制系统相连,所述的控制系统连接到所述的动力机构,并能够控制旋转蓄热体的转速。。 【当前权利人】山西龙镁伟业科技有限公司 【当前专利权人地址】山西省太原市长治路226号高新动力港8层 【被引证次数】2 【被自引次数】2.0 【家族被引证次数】5

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  • 【摘要】本发明涉及一种离子注入机用的晶片夹,属于半导体装备制造领域。一般注入机只对特定的尺寸来设计特定的一整套靶室晶片传送装置和注入时晶片夹持装置,为了在同一机台上既有束流宽度足够满足注入晶片尺寸要求下,改做小尺寸晶片的注入工艺时。往往至少
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