【摘要】 本发明公开了一种快速热处理温度测控方法及测控系统，该系统包括：红外高温计、标准K型热电偶硅晶片、温度信号处理器、热电偶测温仪、加热功率调节器、交流电压过零检测器、定时计数器、可控硅控制信号隔离放大器、可控硅加热电源、加热灯组和控制计算机。所述的各个组件连接关系如附图1所示，整个系统由控制计算机统一协调进行控制，其中所述的加热功率调节器是内置于计算机中的程序。该温度测控方法，包括采用标准热电偶进行温度测量校准、红外高温计进行温度测量、定时计数器控制灯加热功率调节，以及加热灯分区控制对温度分布均匀性进行调整等步骤。本发明能对温度进行自适应PID调节，调控反应快速，能全自动实现快速温度测控功能。 ： 【专利类型】发明申请 【申请人】北京中科信电子装备有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】101111 北京市中关村科技园通州园光机电一体化产业基地兴光二街6号 【申请人地区】中国 【申请人城市】北京市 【申请人区县】通州区 【申请号】CN200810224640.5 【申请日】2008-10-22 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101727118A 【公开公告日】2010-06-09 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN101727118B 【授权公告日】2012-04-25 【授权公告年份】2012.0 【IPC分类号】G05D23/22; H01L21/00 【发明人】唐景庭; 邱小莎; 钟新华 【主权项内容】一种快速热处理温度测量与控制系统，包括两只红外高温计、标准K型热电偶硅晶片、温度信号处理器、热电偶测温仪、加热功率调节器、交流电压过零检测器、定时计数器、可控硅控制信号隔离放大器、可控硅加热电源、加热灯组和控制计算机，其特征在于：所述的红外高温计输出与温度信号处理器连接；所述的温度信号处理器输出与控制计算机连接；所述的标准K型热电偶硅晶片输出与热电偶测温仪连接；所述的热电偶测温仪输出与控制计算机连接；所述的灯加热功率调节器内置于计算机的程序中；所述的交流电压过零检测器输出与定时计数器连接；所述的定时计数器输出与可控硅控制信号隔离放大器连接；所述的可控硅控制信号隔离放大器输出与可控硅加热电源控制信号连接；所述的加热电源输出与加热灯管连接；所述的加热电源输入分别与三相交流电压A、B、C相连接；所述的温度信号处理器、热电偶测温仪、定时计数器与控制计算机连接，由计算机协调动作并进行控制。 【当前权利人】北京中科信电子装备有限公司 【当前专利权人地址】北京市中关村科技园通州园光机电一体化产业基地兴光二街6号 【专利权人类型】有限责任公司(法人独资) 【统一社会信用代码】911101127513429762 【被引证次数】16 【被他引次数】16.0 【家族引证次数】4.0 【家族被引证次数】16
