【摘要】 本发明提供了一种根部带防掉粉装置的吸气元件的制备方法，属于真空吸气元件制备领域。首先将带双孔的陶瓷片洗净烘干；分别制备粘结剂、钛膏、吸气剂膏。取涂有三氧化二铝绝缘层的螺旋丝作为加热丝。用钛膏将陶瓷片单面均匀涂敷并通过两个小孔固定螺旋加热丝，真空烧结制成加热体。将吸气剂涂敷在带有陶瓷片的加热体上制成吸气元件坯件，将此坯件进行真空烧结，降温出炉制得引出端根部带防掉粉装置的吸气元件。本发明解决了陶瓷片与吸气剂的牢固结合技术，从而有效的用陶瓷片取代三氧化二铝的绝缘层，彻底解决了在振动条件下三氧化二铝的涂层脱落问题，使吸气元件整体强度增强，满足了特殊电真空器件对吸气元件强度性能的苛刻要求。 【专利类型】发明授权 【申请人】北京有色金属研究总院 【申请人类型】企业 【申请人地址】100088 北京市新街口外大街2号 【申请人地区】中国 【申请人城市】北京市 【申请人区县】西城区 【申请号】CN200810116163.0 【申请日】2008-07-04 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101325139B 【公开公告日】2010-06-09 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN101325139B 【授权公告日】2010-06-09 【授权公告年份】2010.0 【IPC分类号】H01J9/39; H01J9/00; H01J7/18 【发明人】尉秀英; 秦光荣; 李腾飞; 张艳; 杜军; 毛昌辉; 苑鹏; 熊玉华 【主权项内容】一种根部带防掉粉装置的吸气元件的制备方法，其特征在于，所述方法的步骤包括：1)陶瓷片准备：按制备吸气元件外径尺寸要求制备带双孔的95瓷陶瓷片，将陶瓷片在沸水中煮沸30分钟，再在质量浓度5％NaOH溶液中浸10分钟，取出用去离子水冲洗10分钟后烘干；2)粘结剂制备：将占粘结剂体积的比例为87～97％的二乙酸二乙酯、苯二甲酸二丙酯为2～5％和硝棉溶液为1～8％混合配制成粘结剂；3)钛膏制备：将纯钛粉与粘结剂按体积比为40％∶60％～60％∶40％混合制成钛膏；4)加热体准备：按制备吸气元件外径尺寸要求及激活温度要求选取一定螺旋外径、一定电阻并涂有三氧化二铝绝缘层的螺旋热丝，将螺旋热丝两个引出端分别穿入陶瓷片两个小孔中，用钛膏将两根引出丝固定，并在朝向螺旋热丝一侧的陶瓷面上均匀涂敷钛膏，晾干后放入真空炉中烧结，烧结温度为750℃～800℃，时间为30分钟，真空度为5×10-3Pa，降温出炉后，制得带陶瓷片的元件加热体；5)吸气剂膏制备：将吸气材料粉末与粘结剂按体积比80％∶20％混合制得吸气剂材料；6)吸气元件制备：将吸气剂材料在带有陶瓷片的元件加热体上制作成形，制得吸气元件坯件，将吸气元件坯件在真空炉中烧结的温度为950℃，时间20分钟，真空度为5×10-4Pa进行烧结，降温出炉制得引出端根部带防掉粉装置的吸气元件。 【当前权利人】有研工程技术研究院有限公司 【当前专利权人地址】北京市怀柔区雁栖经济开发区兴科东大街11号 【引证次数】5.0 【自引次数】1.0 【他引次数】4.0 【家族引证次数】5.0 【家族被引证次数】7
