【摘要】 本发明公开了属于无机体材料制备技术领域的一种高光学质量硫化锌头罩的制备方法。清洗沉积头罩模具，将过渡层涂覆在衬底上，干燥；将头罩模具安置在沉积板从底部起1/2～3/4高度处；封炉，抽真空至小于200Pa，通入氩气调解压力至1×103～1×104Pa，对沉积系统进行升温至600～750℃后，用质量流量计控制通入气体的流量，通入氩气、硫化氢，保持沉积室内动态压力为不变，沉积20～30天，降至室温，经切割、研磨、抛光后得到硫化锌头罩。本发明成功解决了化学气相沉积制备硫化锌头罩工艺中厚度均匀性和高光学质量均匀性问题，消除材料表面胞状生长和内部夹杂，制得的硫化锌头罩具有厚度均匀性和高红外光学透过性能。 ： 【专利类型】发明申请 【申请人】北京有色金属研究总院; 北京国晶辉红外光学科技有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】100088 北京市新街口外大街2号 【申请人地区】中国 【申请人城市】北京市 【申请人区县】西城区 【申请号】CN200810240781.6 【申请日】2008-12-25 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101760725A 【公开公告日】2010-06-30 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN101760725B 【授权公告日】2011-09-07 【授权公告年份】2011.0 【IPC分类号】C23C16/30; C23C16/02; C23C16/455; C23C16/52 【发明人】苏小平; 王铁艳; 张福昌; 霍承松; 魏乃光; 赵永田; 付利刚; 黄万才; 石红春; 郑冉; 鲁泥藕; 孙加滢 【主权项内容】一种高光学质量硫化锌头罩的制备方法，采用阴模内壁沉积方式，其特征在于，该方法具体实施步骤如下，(1)用有机溶剂清洗沉积头罩模具，并采用刷涂的方式将过渡层涂覆在衬底上，并对涂覆过渡层的衬底进行干燥处理；(2)通过拼接的方式将头罩模具安置在沉积板从底部起1/2～3/4高度处；(3)锌池、沉积室和卸料箱安装完毕后，封炉，并抽真空至小于200Pa，通入氩气调解压力至1×103～1×104Pa，以2～5℃/min的速率对沉积系统进行升温，当沉积室温度达到600～750℃后，用质量流量计控制通入气体的流量，将携带锌的氩气以10～20L/min的流速通入锌池，将硫化氢以0.05～0.1L/min的流速、携带硫化氢的氩气以1～5L/min的流速通入沉积室，通过调节真空泵的抽气速率，保持沉积室内动态压力为1×103～1×104Pa不变，开始发生沉积反应生长；(4)沉积时间为20～30天，然后以0.1～0.3℃/min的降温速率降至室温，经切割、研磨、抛光后得到硫化锌头罩。 【当前权利人】有研国晶辉新材料有限公司 【当前专利权人地址】河北省廊坊市三河市燕郊兴都村南有研科技集团有限公司二部 【专利权人类型】有限责任公司(法人独资) 【统一社会信用代码】91110108723577081E 【被引证次数】3 【被他引次数】3.0 【家族引证次数】5.0 【家族被引证次数】3
