【摘要】 本发明提供一种非接触六自由度微位移测量装置，该装置包括：可动部 分，被测物体与所述可动部分固定在一起；固定不动部分；三个面阵CCD， 其中，第一面阵CCD和第二面阵CCD与可动部分固定在一起，第三面阵CCD 与固定不动部分固定在一起；三路激光输出结构，与固定不动部分固定在一 起，并发射三束光束，分别被所述三个面阵CCD接收，其中，当被测物体发 生任意自由度的运动时，引起相应面阵CCD上光点的位置发生变化，根据被 测物体运动前后所述光点位置的变化来计算被测物体的六自由度位移。本发 明的非接触六自由度微位移测量装置可用于高精度的物体六自由度微位移监 测。 【专利类型】发明授权 【申请人】北京信息科技大学 【申请人类型】学校 【申请人地址】100192北京市海淀区清河小营东路12号 【申请人地区】中国 【申请人城市】北京市 【申请人区县】海淀区 【申请号】CN200810149831.X 【申请日】2008-10-08 【申请年份】2008 【公开公告号】CN100593687C 【公开公告日】2010-03-10 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN100593687C 【授权公告日】2010-03-10 【授权公告年份】2010.0 【IPC分类号】G01B11/02; G01B11/03 【发明人】刘力双; 吕勇; 郎晓萍; 吕乃光; 孙鹏 【主权项内容】1、一种非接触六自由度微位移测量装置，包括： 可动部分，被测物体与所述可动部分固定在一起； 固定不动部分； 三个面阵CCD，其中，第一面阵CCD和第二面阵CCD与可动部分固定 在一起，第三面阵CCD与固定不动部分固定在一起； 三路激光输出结构，与固定不动部分固定在一起，并发射三束光束，分 别被所述三个面阵CCD接收， 其中，当被测物体发生任意自由度的运动时，引起相应面阵CCD上光点 的位置发生变化，根据被测物体运动前后所述光点位置的变化来计算被测物 体的六自由度位移， 其中，三束光束中的一束光束入射到固定在可动部分上的平面反射镜上， 被平面反射镜反射回来的光束由一个半透半反镜分光后被第三面阵CCD接 收，根据第三面阵CCD上光点的位置变化来测量六自由度中的两个旋转角度 分量， 其中，第一面阵CCD和第二面阵CCD与平面反射镜共面，并且三束光 束中的另外两束光束的反向延长线交于一点，所述另外两束光束以一定角度 对称入射到第一面阵CCD和第二面阵CCD上，根据第一面阵CCD和第二面 阵CCD上的光点的位置变化来测量六自由度中的另外一个旋转角度分量以 及三个平移分量。。-官网 【当前权利人】北京信息科技大学 【当前专利权人地址】北京市海淀区清河小营东路12号 【专利权人类型】公立 【统一社会信用代码】121100006908051713 【引证次数】6.0 【被引证次数】2 【他引次数】6.0 【被自引次数】2.0 【家族引证次数】6.0 【家族被引证次数】17
