【摘要】 本发明公开了一种利用全反射角的改变进行传感的折射率传感方法，该方法包括：光从折射率为N的材料入射至折射率为n1的传感物质时，测出在不同入射角时的反射率，得到反射数据与曲线，其中N＞n1；对反射率求角度微分，得到反射率角度微分数据与曲线，从反射率角度微分数据与曲线中提取出全反射角θ1；光从折射率为N的材料入射至折射率为n1+Δn的传感物质时，测出不同入射角时的反射率，得到反射数据与曲线，其中N＞n1+Δn；对反射率求角度微分，得到反射率角度微分数据与曲线，从反射率角度微分数据与曲线中提取出全反射角θ2；根据公式Δn＝N(sin(θ1)-sin(θ2))计算出折射率的变化。本发明实现起来简单，测试容易；能精确定出全反射角，提高了传感精度和灵敏度。 【专利类型】发明申请 【申请人】中国科学院半导体研究所 【申请人类型】科研单位 【申请人地址】100083 北京市海淀区清华东路甲35号 【申请人地区】中国 【申请人城市】北京市 【申请人区县】海淀区 【申请号】CN200810240936.6 【申请日】2008-12-24 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101762563A 【公开公告日】2010-06-30 【公开公告年份】2010 【IPC分类号】G01N21/41 【发明人】於丰; 阚强; 许兴胜; 王春霞; 刘宏伟; 陈弘达 【主权项内容】一种利用全反射角的改变进行传感的折射率传感方法，其特征在于，该方法包括：步骤1、光从折射率为N的材料入射至折射率为n1的传感物质时，测出在不同入射角时的反射率，得到反射数据与曲线，其中N＞n1；步骤2、对反射率求角度微分，得到反射率角度微分数据与曲线，从反射率角度微分数据与曲线中提取出全反射角θ1；步骤3、光从折射率为N的材料入射至折射率为n1+Δn的传感物质时，测出不同入射角时的反射率，得到反射数据与曲线，其中N＞n1+Δn；步骤4、对反射率求角度微分，得到反射率角度微分数据与曲线，从反射率角度微分数据与曲线中提取出全反射角θ2；步骤5、根据公式Δn＝N(sin(θ1)-sin(θ2))计算出折射率的变化。 微信 【当前权利人】中国科学院半导体研究所 【当前专利权人地址】北京市海淀区清华东路甲35号 【统一社会信用代码】12100000400012385U 【被引证次数】3 【被他引次数】3.0 【家族被引证次数】3
