【摘要】 本发明公开了一种用于平板显示面板的涂敷膜厚测量装置，具体包括：传感器和移动模块，其中，传感器安装在移动模块上；移动模块可以沿涂敷方向和喷嘴方向移动。在本发明的实施例中，还提供了一种用于平板显示面板的涂敷膜厚测量方法，具体包括以下步骤：在涂敷过程中，传感器随横梁沿涂敷方向做直线运动，同时在垂直于涂敷方向的喷嘴方向做直线运动，记录传感器在涂敷方向、喷嘴方向的位置信息和没有涂层的基板厚度数据信息；在喷嘴和传感器返回到涂敷起始点位置过程中，传感器的完全按照涂敷过程中的轨迹运动，记录在涂敷方向、喷嘴方向的位置信息和有涂层的基板厚度数据信息。 【专利类型】发明申请 【申请人】四川虹欧显示器件有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】100085 北京市海淀区上地信息路11号 【申请人地区】中国 【申请人城市】北京市 【申请人区县】海淀区 【申请号】CN200810247514.1 【申请日】2008-12-30 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101718540A 【公开公告日】2010-06-02 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN101718540B 【授权公告日】2012-04-25 【授权公告年份】2012.0 【IPC分类号】G01B21/08 【发明人】陈超; 郑彦标; 王鹏年 【主权项内容】一种用于平板显示面板的涂敷膜厚测量装置，其特征在于，包括：传感器和移动模块，其中所述传感器，其安装在所述移动模块上，用于测量等离子显示面板涂敷膜厚；所述移动模块，其用于沿涂敷方向和喷嘴方向移动。 【当前权利人】四川虹欧显示器件有限公司 【当前专利权人地址】北京市海淀区上地信息路11号 【专利权人类型】其他有限责任公司 【统一社会信用代码】91510700662756819Q 【被引证次数】6 【被他引次数】6.0 【家族引证次数】4.0 【家族被引证次数】6
