【摘要】 本发明公开了一种用于自动测试设备的有效性校准方法，包括如下步骤：(1)启动自动测试设备，执行自检程序；(2)自检完毕之后，由外部测量设备连接测试用适配板的测量点，开始校准工作；(3)执行通道特性参数测量；(4)执行管脚参数测量单元测量；(5)执行板参数测量单元测量；(6)执行器件电源测量。本有效性校准方法可以实现自动测试设备的自动化整体原位校准，从而确保自动测试设备的测试质量和有效使用，并保证所有校准的指标和参数能够溯源到国家标准。 【专利类型】发明申请 【申请人】北京华大泰思特半导体检测技术有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】100088 北京市海淀区北三环中路31号泰思特大厦4层 【申请人地区】中国 【申请人城市】北京市 【申请人区县】海淀区 【申请号】CN200810239569.8 【申请日】2008-12-12 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101750597A 【公开公告日】2010-06-23 【公开公告年份】2010 【IPC分类号】G01R35/00 【发明人】张琳; 吉国凡; 石志刚; 刘炜; 王慧; 金兰; 宋奕霖 【主权项内容】一种用于自动测试设备的有效性校准方法，其特征在于包括如下步骤：(1)启动自动测试设备，执行自检程序；(2)自检完毕之后，由外部测量设备连接测试用适配板的测量点，开始校准工作；(3)执行通道特性参数测量；(4)执行管脚参数测量单元测量；(5)执行板参数测量单元测量；(6)执行电源测量。 【当前权利人】北京华大泰思特半导体检测技术有限公司 【当前专利权人地址】北京市海淀区北三环中路31号泰思特大厦4层 【引证次数】2.0 【被引证次数】16 【他引次数】2.0 【被他引次数】16.0 【家族引证次数】2.0 【家族被引证次数】16
