【摘要】 本发明公开了一种射频装置，用于等离子体处理设备，包括射频电源、射频匹配器、以及至少两组感应耦合线圈，各组感应耦合线圈中射频电流的比例通过电流调节装置调节；所述电流调节装置包括可变电容和电感元件。通过合理设置所述电感元件的电感值，可以使包括所述电流调节装置和感应耦合线圈在内的总阻抗虚部呈感性；总阻抗虚部呈感性时，通过传统的由若干容性元件组成的射频匹配器就顺利实现阻抗匹配，匹配过程简单易行，成本也较低。 微信 【专利类型】发明申请 【申请人】北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】100016 北京市朝阳区酒仙桥东路1号 【申请人地区】中国 【申请人城市】北京市 【申请人区县】朝阳区 【申请号】CN200810240279.5 【申请日】2008-12-22 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101754568A 【公开公告日】2010-06-23 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN101754568B 【授权公告日】2012-07-25 【授权公告年份】2012.0 【IPC分类号】H05H1/46; H01J37/32 【发明人】韦刚 【主权项内容】一种射频装置，用于等离子体处理设备，包括射频电源、射频匹配器、以及至少两组感应耦合线圈，各组感应耦合线圈中射频电流的比例通过电流调节装置改变；其特征在于，所述电流调节装置包括可变电容和电感元件。 【当前权利人】北京北方华创微电子装备有限公司 【当前专利权人地址】北京市大兴区经济技术开发区文昌大道8号 【专利权人类型】有限责任公司 【统一社会信用代码】91110302801786752A 【被引证次数】14 【被自引次数】4.0 【被他引次数】10.0 【家族引证次数】6.0 【家族被引证次数】14
