【摘要】 本发明提供了一种电感耦合线圈，其包括偶数个线圈绕组，所述 线圈绕组成对设置，每一对所述线圈绕组中的两个线圈绕组形状相同并 彼此并联，并且其中一个线圈绕组的输入端位于所述电感耦合线圈的 中央位置处，输出端位于所述电感耦合线圈的边缘位置处并串联有电 抗模块；另一个线圈绕组的输入端位于所述电感耦合线圈的边缘位置 处，输出端位于所述电感耦合线圈的中央位置处并串联有电抗模块。 此外，本发明还提供一种采用上述电感耦合线圈的等离子体处理装置。 本发明提供的电感耦合线圈及等离子体处理装置能够容易地实现阻抗 的共轭匹配，进而提高功率的吸收效率，并且使所产生的等离子体密度 分布更为均匀，从而使被处理工件的加工/处理结果也更为均匀。 【专利类型】发明申请 【申请人】北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】100016北京市朝阳区酒仙桥东路1号M5楼南二层 【申请人地区】中国 【申请人城市】北京市 【申请人区县】朝阳区 【申请号】CN200810117298.9 【申请日】2008-07-28 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101640091A 【公开公告日】2010-02-03 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN101640091B 【授权公告日】2011-06-15 【授权公告年份】2011.0 【发明人】张文雯 【主权项内容】1.一种电感耦合线圈，其特征在于包括偶数个线圈绕组，所述线 圈绕组成对设置，每一对所述线圈绕组中的两个线圈绕组形状相同并彼 此并联，并且其中一个线圈绕组的输入端位于所述电感耦合线圈的中 央位置处，输出端位于所述电感耦合线圈的边缘位置处并串联有电抗 模块；另一个线圈绕组的输入端位于所述电感耦合线圈的边缘位置处， 输出端位于所述电感耦合线圈的中央位置处并串联有电抗模块。 【当前权利人】北京北方华创微电子装备有限公司 【当前专利权人地址】北京市大兴区经济技术开发区文昌大道8号 【专利权人类型】有限责任公司 【统一社会信用代码】91110302801786752A 【被引证次数】TRUE 【家族被引证次数】TRUE
