【摘要】 本发明公开了一种基于微机电技术制作声表面波相关器的方法，该方法包括：在压电晶体衬底上制作两组叉指换能器，该两组叉指换能器互不平行且成一定角度；在所述两组叉指换能器之间制作空气桥；在空气桥上蒸镀金属薄膜，引出金属电极。利用本发明制作的声表面波相关器，具有体积小，制作工艺简单，反应迅速，且易与集成电路工艺集成的特点，而且叉指换能器的特殊设计大大减小了噪声干扰。 【专利类型】发明申请 【申请人】中国科学院微电子研究所 【申请人类型】科研单位 【申请人地址】100029 北京市朝阳区北土城西路3号 【申请人地区】中国 【申请人城市】北京市 【申请人区县】朝阳区 【申请号】CN200810224904.7 【申请日】2008-10-24 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101729035A 【公开公告日】2010-06-09 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN101729035B 【授权公告日】2011-09-14 【授权公告年份】2011.0 【IPC分类号】H03H3/02 【发明人】李昊峰; 贾锐; 李维龙; 陈晨; 朱晨昕 【主权项内容】一种基于微机电技术制作声表面波相关器的方法，其特征在于，该方法包括：在压电晶体衬底上制作两组叉指换能器，该两组叉指换能器互不平行且成一定角度；在所述两组叉指换能器之间制作空气桥；在空气桥上蒸镀金属薄膜，引出金属电极。 ： 【当前权利人】中科微光子科技(成都)有限公司 【当前专利权人地址】四川省成都市双流区成都芯谷产业园区集中区内 【统一社会信用代码】12100000400834434U 【被引证次数】8 【被他引次数】8.0 【家族引证次数】4.0 【家族被引证次数】8
