【摘要】 本发明公开了一种机械手调度方法，包括下述步骤：根据空闲手臂的数量、手臂当前位点Cur_Stn、目标位点M_Stn，选择距离目标位点最近的手臂；使所选择的手臂旋转至目标位点，以便由该手臂在目标位点处执行传输操作。此外，本发明还公开一种机械手调度装置，以及应用上述机械手调度方法和/或装置的等离子体处理设备。本发明能够实现机械手的快速调度、快速执行传输操作，进而能够缩短整个工艺所需时间、提高机台产率。 【专利类型】发明申请 【申请人】北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】100016 北京市朝阳区酒仙桥东路1号M5楼南二层 【申请人地区】中国 【申请人城市】北京市 【申请人区县】朝阳区 【申请号】CN200810225524.5 【申请日】2008-11-04 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101740441A 【公开公告日】2010-06-16 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN101740441B 【授权公告日】2012-04-11 【授权公告年份】2012.0 【IPC分类号】H01L21/677; H01L21/00; B25J3/00; B25J9/16; H01L21/67 【发明人】马宝林 【主权项内容】一种机械手调度方法，其特征在于，包括下述步骤：手臂选择步骤：根据空闲手臂的数量、手臂当前位点Cur_Stn、目标位点M_Stn，选择距离目标位点最近的手臂；手臂移动步骤：使所选择的手臂旋转至目标位点，以便由该手臂在目标位点处执行传输操作。 【当前权利人】北京北方华创微电子装备有限公司 【当前专利权人地址】北京市大兴区经济技术开发区文昌大道8号 【专利权人类型】有限责任公司 【统一社会信用代码】91110302801786752A 【被引证次数】8 【被自引次数】7.0 【被他引次数】1.0 【家族引证次数】4.0 【家族被引证次数】8
