【摘要】 压电陶瓷片驱动的扫描电镜中纳米材料拉伸装置属于纳米材料原位测试 领域。本发明包括底座(1)和带有两个凹槽的绝缘支撑座(2)，该两个凹 槽分别固定两片金属片(3)一端，金属片两侧分别粘贴两片压电陶瓷片(4)， 同时在每片金属片的另外一端分别固定两个样品台(5)，通过电极引线I(7) 连接电源负极和电极引线II(8)连接正极，电极引线I(7)分别连接两片 金属片(3)，电极引线II(8)分别连接4个压电陶瓷片(4)；两个样品台 在同一水平面，之间的狭缝在2-50μm之间。该发明成本低，操作简便，可 测量纳米材料在应力应变过程中的电荷输运特性，为纳米材料在微机电系统 等领域提供可靠的数据。。 【专利类型】发明授权 【申请人】北京工业大学 【申请人类型】学校 【申请人地址】100022北京市朝阳区平乐园100号 【申请人地区】中国 【申请人城市】北京市 【申请人区县】朝阳区 【申请号】CN200810056837.2 【申请日】2008-01-25 【申请年份】2008 【公开公告号】CN100587459C 【公开公告日】2010-02-03 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN100587459C 【授权公告日】2010-02-03 【授权公告年份】2010.0 【IPC分类号】G01N3/00; G01N13/10; H01J37/26; G01Q60/10 【发明人】韩晓东; 岳永海; 郑坤; 张跃飞; 张泽 【主权项内容】1、压电陶瓷片驱动的扫描电镜中纳米材料拉伸装置，其特征在于：包括 底座(1)和用螺钉III(10)固定在底座(1)上的带有两个凹槽的绝缘支撑 座(2)，绝缘支撑座(2)上的两个凹槽分别用螺钉I(6)固定两片金属片 (3)一端，金属片(3)两侧分别粘贴两片压电陶瓷片(4)，同时在每片金 属片(3)的另外一端用螺钉II(9)将两个样品台(5)分别固定在每片金属 片(3)上，通过电极引线I(7)连接外加电源的负极和电极引线II(8)连 接外加电源的正极，电极引线I(7)分别连接两片金属片(3)，电极引线 II(8)分别连接4个压电陶瓷片(4)；在室温大气环境下调整两个样品台 (5)在同一水平面，两个样品台(5)之间的狭缝在2-50μm之间。 【当前权利人】北京工业大学 【当前专利权人地址】北京市朝阳区平乐园100号 【专利权人类型】公立 【统一社会信用代码】12110000400687411U 【引证次数】6.0 【被引证次数】1 【自引次数】4.0 【他引次数】2.0 【被他引次数】1.0 【家族引证次数】6.0 【家族被引证次数】6
