【摘要】 本发明公开了一种匹配方法及应用该匹配方法的等离子体装置，首先通过传感器得到 的数字量，计算阻抗的实部或虚部，然后对各个控制周期计算出的阻抗实部或虚部取差 值，并对各个差值进行比较，找到突变的差值，突变的差值所在的控制周期已进入等离子 体起辉带。然后再利用相应的控制方法控制电容在起辉带内进行调整，直到达到匹配。可 以使匹配器在匹配过程中的调整更有针对性。匹配器进入起辉带后，采用相应的控制方式 进行匹配，不会出现在起辉带附近反复调整的情况，缩短了匹配时间，优化了匹配路径， 延长了匹配器的工作寿命。 【专利类型】发明申请 【申请人】北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】100016北京市朝阳区酒仙桥东路1号M5座2楼 【申请人地区】中国 【申请人城市】北京市 【申请人区县】朝阳区 【申请号】CN200810117344.5 【申请日】2008-07-29 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101640969A 【公开公告日】2010-02-03 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN101640969B 【授权公告日】2012-09-05 【授权公告年份】2012.0 【发明人】王一帆 【主权项内容】1、一种匹配方法，包括多个匹配周期，每个匹配周期中检测一次负载阻抗的值，并 根据检测的结果进行阻抗匹配，其特征在于，在等离子体阻抗匹配的过程中，首先检测每 个匹配周期与前一个匹配周期中所述阻抗的差值； 然后，对多个所述阻抗的差值进行比较，当所述阻抗的差值出现突变时，认为该差值 所在的匹配周期等离子体开始起辉，即进入等离子体的起辉带； 之后，采用相应的控制方法，控制所述阻抗匹配在所述起辉带内进行。 【当前权利人】北京北方华创微电子装备有限公司 【当前专利权人地址】北京市大兴区经济技术开发区文昌大道8号 【专利权人类型】有限责任公司 【统一社会信用代码】91110302801786752A 【被引证次数】TRUE 【家族被引证次数】TRUE
